[发明专利]半导体装置有效
申请号: | 201810208732.8 | 申请日: | 2018-03-14 |
公开(公告)号: | CN108572311B | 公开(公告)日: | 2022-06-14 |
发明(设计)人: | 沈标 | 申请(专利权)人: | 艾普凌科有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;G01R31/3167 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 王岳;闫小龙 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
1.一种半导体装置,作为对多个被测验的电路进行规定的测验的测试模式而具有第一测试模式以及第二测试模式,其中,具备:
测试图案产生部,使与所述测试模式对应的测试图案产生;
测试结果对照部,将向所述被测验的电路供给由所述测试图案产生部产生的所述测试图案的结果得到的该被测验的电路的测试结果与期待值对照;
多个测试控制电路,串联连接在所述测试图案产生部和所述测试结果对照部之间,并且,彼此并联连接,分别对所述测试图案产生部和所述测试结果对照部进行控制;以及
被测验电路,串联连接在所述测试图案产生部和所述测试结果对照部之间,并且,与多个所述测试控制电路的每一个并联连接,输出与从所述测试图案产生部输入的所述测试图案对应的测试结果,
多个所述测试控制电路具有:
第一测试控制电路,在所述第一测试模式下,将自测试控制电路以外的测试控制电路以及所述被测验电路作为多个所述被测验的电路并行地进行测试;以及
第一测试控制电路以外的测试控制电路,在所述第二测试模式下,将包括所述第一测试控制电路的自测试控制电路以外的测试控制电路以及所述被测验电路作为多个所述被测验的电路并行地进行测试。
2.根据权利要求1所述的半导体装置,其中,还具备:
第二被测验电路;
第二测试图案产生部,使向所述第二被测验电路供给的第二测试图案产生;以及
第二测试结果对照部,将向所述第二被测验电路供给由所述第二测试图案产生部产生的所述第二测试图案的结果得到的所述第二被测验电路的测试结果与期待值对照,
所述第一测试控制电路在所述第一测试模式下通过对所述第二测试图案产生部和所述第二测试结果对照部进行控制来对所述第二被测验电路供给所述第二测试图案来进行测试,
所述第一测试控制电路以外的测试控制电路在所述第二测试模式下通过对所述第二测试图案产生部和所述第二测试结果对照部进行控制来对所述第二被测验电路供给所述第二测试图案来进行测试。
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