[发明专利]一种用于增强拉曼信号的台阶形针尖-活性基底结构

权利要求书

1.一种用于增强拉曼信号的台阶形针尖-活性基底结构，其特征在于，包括具有凹状台阶结构的等离激元探针和设置在衬底上表面的银纳米粒子活性基底，等离激元探针前部的台阶结构用于提高针尖的激发效率和增强因子，银纳米粒子活性基底用于增强拉曼信号并淬灭荧光；所述衬底由玻璃介质构成，所述等离激元探针前部的台阶结构的高度a为80 nm，等离激元探针的针尖曲率半径r为5nm，所述等离激元探针镀有银膜，银膜厚度t为25 nm，银膜高度h为300 nm，所述银纳米粒子直径d为55 nm，所述等离激元探针的针尖和银纳米粒子活性基底的间距g为2nm。

2.根据权利要求1所述的一种用于增强拉曼信号的台阶形针尖-活性基底结构，其特征在于，所述衬底的规格尺寸为1000nm×1000nm×150nm。

3.根据权利要求1所述的一种用于增强拉曼信号的台阶形针尖-活性基底结构，其特征在于，所述衬底的介电常数为1.5。

4.根据权利要求1所述的一种用于增强拉曼信号的台阶形针尖-活性基底结构，其特征在于，所述等离激元探针的针尖材料选用化学性质稳定的钨。