[发明专利]一种夹具冷却装置及纳米材料制作设备

说明书

一种夹具冷却装置及纳米材料制作设备，通过在转轴中设有内腔及外腔，在夹具中设有冷却通道，上冷却管道连通冷却通道的上端与转轴的内腔，下冷却管道连通冷却通道的下端及转轴的外腔，接头件与转轴转动连接，通过接头件进水，水流经夹具及转轴后经接头件排出，如此可冷却工件及夹具、提高工件质量及延长夹具的使用寿命。

技术领域

本发明涉及纳米材料制作领域，特别是一种夹具冷却装置及纳米材料制作设备。

背景技术

溅射法制作纳米材料的方式有：磁控溅射、偏压溅射及反应溅射等。其中磁控溅射的原理为：电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞，电离出大量的氩离子和电子，电子飞向基片。氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子沉积在基片上成膜。二次电子在加速飞向基片的过程中受到磁场洛仑磁力的影响，被束缚在靠近靶面的等离子体区域内，该区域内等离子体密度很高，二次电子在磁场的作用下围绕靶面作圆周运动。

磁控溅射制作纳米材料可用来对放置在基材上的工件，如轴瓦，进行镀膜。基材与工件放置于真空室中，镀膜前需要对真空室进行加热，用灯丝发出离子对工件进行清洗，得到较佳的镀膜效果。过高的温度会导致轴瓦损毁，影响工件的质量及夹具的使用寿命。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种可对工件及夹具进行散热、提高工件质量及延长夹具使用寿命的夹具冷却装置及纳米材料制作设备，以解决上述问题。

一种夹具冷却装置，包括夹具转盘、若干垂直设置于夹具转盘上的夹具、转盘驱动机构、转轴及冷却机构，所述转盘驱动机构驱动夹具转盘转动，所述冷却机构包括下冷却管道、上冷却管道及接头件，所述转轴穿过夹具转盘的中部并具有相互隔绝的内腔及外腔，所述夹具中设有冷却通道，上冷却管道连通冷却通道的上端与转轴的内腔，下冷却管道连通冷却通道的下端及转轴的外腔，接头件与转轴转动连接，所述接头件上设有进水端及出水端。

进一步地，所述转盘驱动机构的输出端设有驱动齿轮，转盘驱动机构的下侧面设有从动齿轮，转盘驱动机构的驱动齿轮与转盘驱动机构的从动齿轮啮合。

进一步地，所述转轴的外侧壁与接头件的内侧壁之间设有至少一个密封圈。

进一步地，所述进水端与外腔连通，出水端与内腔连通。

进一步地，所述进水端与内腔连通，出水端与外腔连通。

进一步地，所述夹具的截面呈弧形或半圆环型。

进一步地，所述夹具包括主体及张紧件，所述张紧件连接主体的两端，用

于调节主体的张紧度。

一种纳米材料制作设备，具有如上所述的夹具冷却装置。

与现有技术相比，本发明的夹具冷却装置及纳米材料制作设备通过在转轴中设有内腔及外腔，在夹具中设有冷却通道，上冷却管道连通冷却通道的上端与转轴的内腔，下冷却管道连通冷却通道的下端及转轴的外腔，接头件与转轴转动连接，通过接头件进水，水流经夹具及转轴后经接头件排出，如此可冷却工件及夹具、提高工件质量及延长夹具的使用寿命。

附图说明

以下结合附图描述本发明的实施例，其中：

图1为本发明提供的夹具冷却装置的剖视图。

图2为图1中的转轴的截面示意图。

图3为图1中A部分的放大示意图。

图4为图1中的俯视图。

图5为图4中B部分的放大示意图。

具体实施方式