[发明专利]基于结晶弛豫结构的固态发光器件

权利要求书

1.一种用于制造具有多个光源的固态发光器件的方法，所述方法包括以下步骤：

提供具有生长表面（204）的衬底（201）；

在所述生长表面上提供掩模层（205），所述掩模层具有多个开口（206），通过所述多个开口（206），暴露所述生长表面（204），其中，所述开口（206）中的每一个的最大横向尺寸小于0.3 μm，以及其中，所述掩模层（205）包括第一掩模层部分（302）和第二掩模层部分（303），所述第一掩模层部分（302）和所述第二掩模层部分（303）中的每一个包括暴露所述生长表面（204）的多个开口（206），

其中，所述第一掩模层部分（302）展示出所述生长表面（204）的暴露面积与所述生长表面（204）的未暴露面积之间的第一比率，以及其中，所述第二掩模层部分（303）展示出所述生长表面（204）的暴露面积与所述生长表面（204）的未暴露面积之间的第二比率，所述第二比率大于所述第一比率；

在所述掩模层（205）的所述开口（206）中的每一个中，在所述生长表面（204）上生长至少部分结晶弛豫的基底结构（207）；以及

在所述基底结构（207）中的每一个的表面上生长至少一个光生成量子阱层（208），

其中，所述至少一个光生成量子阱层（208）对应于所述第一掩模层部分（302）的部分的厚度大于所述至少一个光生成量子阱层（208）对应于所述第二掩模层部分（303）的部分的厚度，

其中，所述多个开口具有基本上相同的尺寸，以及其中，相邻开口之间的距离在所述第二掩模层部分（303）中比在所述第一掩模层部分（302）中更小，以及

其中，所述多个开口（206）中的每一个开口具有多边形形状，其中，所述开口的至少一个边与所述生长表面（204）的结晶取向基本上平行地对准。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述开口是六边形的。

3.根据权利要求1所述的方法，还包括以下步骤：在所述基底结构中的每一个的光生成量子阱层（207）上提供第一接触结构，并提供与该基底结构电接触的第二接触结构。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，提供第一接触结构的步骤包括以下步骤：

在所述光生成量子阱层（208）的表面上生长电荷载流子限制层（209）；

在所述电荷载流子限制层（209）的表面上提供导电层（210）；以及

提供与所述导电层的接触。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述提供掩模层（205）的步骤包括以下步骤：

将掩模层材料沉积在所述生长表面上；以及

选择性地移除掩模层材料以形成所述开口（206）。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，所述选择性地移除的步骤包括以下步骤：

通过经由纳米压印在所述掩模层（205）中产生多个凹坑，对所述掩模层（205）进行图案化；以及

通过相对于所述生长表面材料选择性地蚀刻所述掩模层材料，在所述凹坑的底部处移除所述掩模层材料，以形成暴露所述生长表面（204）的所述开口（206）。