[发明专利]一种PCVD沉积装置

权利要求书

1.一种PCVD沉积装置，包括长筒形加热炉和安设在加热炉炉腔的谐振腔，所述的谐振腔通过波导伸出加热炉与轴向往复装置及微波源相联，所述的长筒形加热炉包括有壳体，壳体内壁安设保温层，加热炉炉腔沿周向安设有加热元件，其特征在于在加热炉壳体和保温层之间敷设有吸波层，所述的吸波层由形状相同的凸块均匀布设构成。

2.按权利要求1所述的PCVD沉积装置，其特征在于所述的吸波层由三棱锥或多棱锥凸块紧密排列构成。

3.按权利要求2所述的PCVD沉积装置，其特征在于所述的三棱锥或多棱锥的顶角为20°~60°，高度为谐振腔微波波长的1/8~1。

4.按权利要求1所述的PCVD沉积装置，其特征在于所述的吸波层由等截面凸块等距间隔排列构成。

5.按权利要求4所述的PCVD沉积装置，其特征在于所述的等截面凸块的截面为圆形、三角形、正方形或六边形。

6.按权利要求1所述的PCVD沉积装置，其特征在于所述的吸波层由条形等截面凸块等距间隔排列构成。

7.按权利要求6所述的PCVD沉积装置，其特征在于所述的等距间隔的凸块或条形凸块的高度谐振腔微波波长的1/8~1/2，所有凸块或条形凸块的垂直投影面积等于或小于整个吸波层面积的1/2。

8.按权利要求1或2或4或6所述的PCVD沉积装置，其特征在于所述的吸波层由改性的碳纤维、碳化硅或石墨等耐高温吸收型吸波材料制成，或由金属制成。

9.按权利要求1或2或4或6所述的PCVD沉积装置，其特征在于所述的壳体为金属壳体，所述的保温层为多孔陶瓷保温材料。

10.按权利要求1所述的PCVD沉积装置，其特征在于所述的长筒形加热炉壳体横截面为矩形，炉腔也为矩形，所述的加热元件为碳棒。