[发明专利]双腔室无污染化学气相沉积二维材料异质结的装置

权利要求书

1.一种双腔室无污染化学气相沉积二维材料异质结的装置，其特征在于，包括真空腔室，所述真空腔室为圆型卧式真空室，所述真空腔室通过中间挡板横向阻隔为两个腔室，每个腔室分别设有一套催化剂供给系统；

每套所述催化剂供给系统分别包括圆形托盘，每个圆形托盘的上方分别设有上加热器，两个圆形托盘的下方设有一个共用的下加热器；

所述圆形托盘与旋转驱动电机连接，每个所述上加热器分别与垂直升降驱动电机连接，所述下加热器与垂直升降驱动电机和水平方向移动驱动电机分别连接，所述驱动电机通过密封法兰固定在所述真空腔室的壁上。

2.根据权利要求1所述的双腔室无污染化学气相沉积二维材料异质结的装置，其特征在于，所述圆形托盘直径为25厘米，在距离圆心7厘米的同心圆位置上均匀开设6个直径为5cm的圆孔，所述圆孔部位放置悬浮催化剂；

所述真空腔室的尺寸为直径400x长800mm，前面开有工艺门，采用双层夹壁水冷结构，腔室壁不锈钢材料制造，接口部位设有金属垫圈或氟橡胶圈，所述中间挡板为半圆形的不锈钢板。

3.根据权利要求2所述的双腔室无污染化学气相沉积二维材料异质结的装置，其特征在于，还包括定位系统、源供给系统、真空获取系统、真空测量系统。

4.根据权利要求3所述的双腔室无污染化学气相沉积二维材料异质结的装置，其特征在于，所述定位系统包括：限位所述上加热器的激光二极管、测量所述下加热器与悬浮催化剂之间距离的光栅尺、测量所述下加热器所处位置的光栅尺。

5.根据权利要求3所述的双腔室无污染化学气相沉积二维材料异质结的装置，其特征在于，所述真空获取系统包括两套分子泵及其组件、高真空阀门。

6.根据权利要求3所述的双腔室无污染化学气相沉积二维材料异质结的装置，其特征在于，所述真空测量系统包括粗测真空规和细测真空规，粗测真空规是全量程真空规，细测真空规是薄膜规，所述细测真空规与蝶阀联动。

7.根据权利要求3所述的双腔室无污染化学气相沉积二维材料异质结的装置，其特征在于，所述的源供给系统包括两部分，一部分是源，另一部分是气体质量流量计和气瓶，所述源分为气态源和液态源，所述气态源为碳源，所述液态源为环硼氮烷源。