[发明专利]包括具有重新布线单元的转换器元件的X射线检测器

说明书

本公开涉及包括具有重新布线单元的转换器元件的X射线检测器，其具有包括转换器元件、重新布线单元和评估单元的堆叠布置。转换器元件在背离评估单元的表面上具有第一电极且在面向评估单元的表面上具有像素化第二电极，该像素化第二电极具有多个电极元件。评估单元具有像素电极。重新布线单元被实施在转换器元件面向评估单元的表面上，其中电极元件与像素电极之间的导电连接的第一接触件被提供在重新布线单元面向转换器元件的表面上且具有第一平坦分布，并且电极元件与像素电极之间的导电连接的第二接触件被提供在重新布线单元面向评估单元的表面上且具有与第一平坦分布相比更小的第二平坦分布。评估单元的平坦延伸小于转换器元件的平坦延伸。

技术领域

本发明涉及一种包括转换器元件的X射线检测器，以及一种医疗设备和一种用于X射线检测器的生产方法，该转换器元件具有被实施在转换器元件面向评估单元的表面上的重新布线单元。

背景技术

计数型直接转换X射线检测器或集成型间接转换X射线检测器可以用在X射线成像中，例如用在计算机断层摄影术、血管造影术或射线照相术中。

在直接转换X射线检测器中，X射线辐射或光子可以通过适当的转换器材料而转换成电脉冲。适当的转换器材料的示例是CdTe、CZT、CdZnTeSe、CdTeSe、CdMnTe、InP、TlBr2、HgI2、GaAs或其他材料。电脉冲(例如电压脉冲)在评估单元中由例如集成电路(专用集成电路(ASIC))的评估电子设备来解译。在计数型X射线检测器中，通过对由于X射线光子在转换器材料中的吸收而触发的电脉冲进行计数来测量入射X射线辐射。电脉冲的高度通常与所吸收的X射线光子的能量成比例。这使得光谱信息能够通过将电脉冲的高度与阈值进行比较来提取。评估单元可以连接到载体单元，例如陶瓷子结构，使得可以实现增加的机械稳定性并且可以提供到下游信号处理单元的信号连接的重新布线。为了抵消被散射的X射线光子的入射，可以在转换器元件面向辐射源的一侧上实施防散射栅格。

DE 10 2012 213 410 B3公开了一种直接转换X射线辐射检测器，其具有沉积在半导体上的至少一个电极。该至少一个电极和半导体以导电方式连接，该至少一个电极被实施为透明且导电。

根据DE 101 38 913 A1，已知一种用于X射线计算机断层摄影装置的检测器模块，其中包括多个传感器元件的传感器阵列安装在印刷电路板的正面上。为了提高检测器的精度，根据该发明规定了以下：为了加热传感器阵列的目的，至少一个加热元件被设置在印刷电路板背离传感器阵列的背面上，并且为了控制加热元件的目的，控制电子电路靠近加热元件被布置。

本发明所要解决的问题在于：为了获得机械稳定的堆叠结构，评估单元和转换器元件在基本上相同大小的区域(平坦延伸)上延伸，因此成本较高，这是因为评估单元的成本取决于评估单位的平坦延伸。

发明内容

本发明的目的是公开一种X射线检测器、一种医疗设备和一种用于生产X射线检测器的方法，其使得成本高效且机械稳定的X射线检测器能够得以实现。

根据本发明，该目的通过根据权利要求1所述的X射线检测器、根据权利要求10所述的医疗设备以及根据权利要求12所述的方法来实现。

本发明涉及具有堆叠布置的计数型X射线检测器，该堆叠布置包括转换器元件、重新布线单元和评估单元。转换器元件在背离评估单元的表面上具有第一电极，并且在面向评估单元的表面上具有像素化第二电极，该像素化第二电极具有多个电极元件。评估单元具有像素电极。重新布线单元被实施在转换器元件面向评估单元的表面上，电极元件与像素电极之间的导电连接的第一接触件被提供在重新布线单元面向转换器元件的表面上并且具有第一平坦分布，并且电极元件与像素电极之间的导电连接的第二接触件被提供在重新布线单元面向评估单元的表面上并且具有与第一平坦分布相比更小的第二平坦分布。评估单元的平坦延伸小于转换器元件的平坦延伸。