[发明专利]玻璃弯曲形状测量装置及玻璃弯曲形状测量方法

权利要求书

1.一种玻璃弯曲形状测量装置，其包含支撑机构、读取机构、吸附/翻转机构、以及控制/显示机构，

所述控制/显示机构通过操作人员的操作而分别向支撑机构、读取机构、吸附/翻转机构发送指令，并接收来自支撑机构、读取机构、吸附/翻转机构的反馈信号。

2.根据权利要求1所述的玻璃弯曲形状测量装置，其中，所述吸附/翻转机构具有吸附/翻转实施部及吸附/翻转驱动部，所述吸附/翻转驱动部驱动所述吸附/翻转实施部的吸附/翻转，

所述吸附/翻转实施部优选为具有吸附功能的翻转手臂，

所述吸附/翻转驱动部优选为多行程气缸。

3.根据权利要求1或2所述的玻璃弯曲形状测量装置，其中，所述支撑机构以相对于玻璃可自由上下移动的方式配置，其优选至少设置为可停留在与玻璃脱离开的下降位、和与玻璃接触的上升位。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的玻璃弯曲形状测量装置，其中，所述来自支撑机构、读取机构、吸附/翻转机构的反馈信号至少包含：来自支撑机构、读取机构及吸附/翻转机构的到位信号；由读取机构读取的位置信息；来自吸附/翻转机构的吸附完成信号；来自吸附/翻转机构的翻转完成信号。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的玻璃弯曲形状测量装置，其中，所述支撑机构为支撑杆。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的玻璃弯曲形状测量装置，其中，所述读取机构包含读数部及自驱动部，所述读数部的上升及下降基于所述自驱动部的驱动而进行。

7.根据权利要求6所述的玻璃弯曲形状测量装置，其中，所述读数部在所述自驱动部的驱动下无限接近于玻璃基板下垂面时开始读取位置信息，优选在该读数部与玻璃基板下垂面的间距达到0.01mm以下时开始读取位置信息。

8.一种玻璃弯曲形状测量方法，其是利用权利要求1所述的玻璃弯曲形状测量装置依次重复进行下述步骤而对玻璃的弯曲形状进行测量的方法，该方法包括：

测前稳定步骤：将玻璃基板置于所述玻璃弯曲形状测量装置的载物台上后，对控制/显示机构进行操作，以使玻璃基板处于非自然下垂状态的方式使支撑机构上升、吸附/翻转机构下降；

玻璃正面位置读取步骤：支撑机构下降并停留在下降位以使玻璃基板处于自然下垂状态之后，读取机构接收到来自控制/显示机构的指令而在其包含的自驱动部的驱动下无限接近于玻璃基板下垂面、优选读数部与玻璃基板下垂面的间距达到0.01mm以下，并将此时的位置信息反馈给控制/显示机构；

吸附及翻转步骤：数据读取完成后，支撑机构上升并停留在上升位，然后，吸附/翻转机构的吸附/翻转驱动部接收到指令而驱动吸附/翻转机构的吸附/翻转实施部到达玻璃下方并在到位后对玻璃以预先设定的吸附真空压力实施吸附，吸附完成信号反馈至控制/显示机构后，吸附/翻转驱动部接收到指令而驱动吸附/翻转实施部连同其吸附的玻璃基板一起翻转180°；以及

玻璃反面位置读取步骤：所述吸附/翻转驱动部驱动所述吸附/翻转实施部上升至上升位，进一步驱动该吸附/翻转实施部翻转180°以复位，读取机构接收到来自控制/显示机构的指令而在其包含的自驱动部的驱动下无限接近于玻璃基板下垂面、优选读数部与玻璃基板下垂面的间距达到0.01mm以下，并将此时的位置信息反馈给控制/显示机构。

9.根据权利要求8所述的玻璃弯曲形状测量方法，其中，所述预先设定的吸附真空压力为-40kPa～-90kPa。