[发明专利]一种低能耗的黑磷单晶制备方法有效
申请号: | 201810216647.6 | 申请日: | 2018-03-16 |
公开(公告)号: | CN108557788B | 公开(公告)日: | 2020-03-10 |
发明(设计)人: | 喻学锋;童睿锋;黄浩;王佳宏 | 申请(专利权)人: | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
主分类号: | C01B25/02 | 分类号: | C01B25/02 |
代理公司: | 北京市诚辉律师事务所 11430 | 代理人: | 范盈 |
地址: | 518055 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 能耗 黑磷 制备 方法 | ||
本发明公开了一种低能耗的黑磷单晶制备方法,该方法步骤如下:以粗制黑磷粉末为磷原料,将其与金属单质锡和矿化剂四碘化锡在真空条件加热反应,通过程序降温,得到体积较大、纯度更高的黑磷单晶。该方法所需设备简单,反应温度较低,且得到的黑磷晶体晶型好,能明显降低能耗,有利于实现黑磷晶体的工业化规模制备。
技术领域
本发明属于半导体材料制备领域,具体涉及一种低能耗的黑磷单晶制备方法。
背景技术
半导体产业在我国国民经济中扮演的角色越来越重要,而新型半导体材料的制备与应用是新时代发展的必然要求。理论计算表明,黑磷烯是具有直接带隙的p型半导体,具有极高的载荷子迁移率,可达10000cm2/V·s。相较于零带隙的石墨烯材料,黑磷烯可实现逻辑电路的开关,其在场效应晶体管、光电探测器等精尖端领域具备更好的应用前景。而黑磷晶体作为制备黑磷烯的前驱物,具有很大的市场需求。因此发展一种高效、低成本的制备方法对于推广黑磷烯的实际应用十分有必要。
单质磷有红磷、白磷、黑磷、紫磷四种同素异形体,黑磷是其中热稳定性最好的一种,同时其也是一种新型半导体材料。自从Bridgeman在1914年于高温高压条件下将白磷转变为黑磷(J.Am.Chem.Soc.,1914,36,1344.),近百年来出现了各种制备黑磷晶体的方法,但是无不受限于苛刻的制备条件、复杂的反应装置等不足,直到2007年Nilges报道了一种低压条件下,利用金、锡及四碘化锡作为催化剂,将红磷转变为了黑磷(Inorg.Chem.2007,46,4028.)。CN105133009A、CN105603517A和CN106087050A也公布了对该方法的改进,但是仍然存在反应装置要求高(前两者要求双温区控温)及反应温度高(最低温度均在500℃以上)等问题。
发明内容
本发明的目的在于克服上述现有技术不足,进而提供了一种低能耗的黑磷单晶制备方法。
为了实现上述目的,本发明所采取的技术方案是:以粗制黑磷粉末为原料,将其与金属单质锡和矿化剂四碘化锡在真空条件下,350~500℃温度下反应,得到黑磷单晶。
根据上述的黑磷单晶制备方法,其中所述反应是将反应物密封于石英管中,在马弗炉中进行加热反应的。
根据上述的黑磷单晶制备方法,其中金属锡可配合四碘化锡将粗制黑磷粉末转化为黑磷单晶,优选情况下,所述锡单质的锡元素含量不低于99质量%;更为优选情况,锡元素含量不低于99.999%。
根据本发明,四碘化锡作为矿化剂配合金属锡将粗制黑磷粉末转化为黑磷单晶,优选情况下,所述四碘化锡中四碘化锡的含量不低于99质量%,更为优选情况,四碘化锡含量不低于99.999%。
根据本发明,所述粗制黑磷粉末、金属锡及四碘化锡的质量比可在一个较宽泛的范围内变化,优选情况下,黑磷粉末、金属单质锡和矿化剂四碘化锡的质量比为10~200:1~10:1;更为优选情况下,其质量比为20~100:2~5:1。
根据上述的黑磷单晶制备方法,其中所述反应包括控温的步骤,首先将温度经60分钟升到350~500℃后,保温1~2小时;然后开始降温,降温过程为经6~20小时降到200~350℃,然后经6~20h降到50~200℃,然后经0.5小时或以上降至室温;更优选经1小时降至室温。
根据上述的黑磷单晶制备方法,其中所述控温过程是通过马弗炉自带控制器实现的程序升温和降温。
根据上述的黑磷单晶制备方法,其中所述反应温度在380~480℃之间;更优选400~480℃之间。
根据上述的黑磷单晶制备方法,其中所述的真空条件的压力为1Pa以下;更优选0.1Pa以下。
根据上述的黑磷单晶制备方法,其中所述磷原料粗制黑磷粉末可以视为制备黑磷单晶的前驱物,所述原料粗制黑磷粉末是通过高速球磨机球磨红磷得到的。
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