[发明专利]一种测定特气含量的试剂以及一种测定特气含量的方法

权利要求书

1.一种测定特气含量的试剂，其特征在于，包括：

5wt％～10wt％的过氧化氢；

5wt％～10wt％的硝酸银；

3wt％～5wt％的硝酸；

余量为水；

所述特气包括锗烷、磷烷和砷烷中的一种或多种。

2.一种测定特气含量的方法，其特征在于，包括以下步骤：

将特气与权利要求1所述的测定特气含量的试剂混合，进行反应后，将反应液用ICP-OES检测，经过计算得到特气含量。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，包括以下步骤：

在密闭的反应装置中充满特气后再注入权利要求1所述的测定特气含量的试剂，将所述特气与试剂充分混合，进行反应，得到反应液；

将所述反应液用ICP-OES检测，经过计算得到特气含量。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述密闭的反应装置包括：

反应瓶；

设置于所述反应瓶口处的瓶塞；

开设于所述瓶塞上的、并与所述反应瓶相连通的气体入口、气体出口以及试剂入口。

5.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述特气为特气尾气吸收系统排放气中的特气或体积分数低于0.8％的特气混合气。

6.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述特气中锗烷、磷烷和砷烷的总的体积浓度为1ppm～0.8％。

7.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述特气与试剂的体积比为1L：(10～50)ml。

8.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述反应的温度为0～40℃，所述反应的时间为0.5小时以上。