[发明专利]检测元件和检测装置在审
| 申请号： | 201810217892.9 | 申请日： | 2018-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN108627413A | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 服部将志;尾下顺二 | 申请（专利权）人： | 太阳诱电株式会社 |
| 主分类号： | G01N5/02 | 分类号： | G01N5/02;G01D21/02 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;季向冈 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶体振荡器 吸附膜 检测 检测装置 晶体阻抗 共振频率变化 湿度变化 | ||
【权利要求书】：
1.一种检测元件，其特征在于，包括：
晶体振荡器；和
形成在所述晶体振荡器上的吸附膜，
所述吸附膜具有使所述检测元件的晶体阻抗成为没有形成所述吸附膜的所述晶体振荡器的晶体阻抗的10倍以下的厚度。
2.如权利要求1所述的检测元件，其特征在于，还包括：
所述吸附膜在使所述检测元件的晶体阻抗成为没有形成所述吸附膜的所述晶体振荡器的晶体阻抗的10倍以下的膜厚范围内具有最大的厚度。
3.一种检测装置，其包括多个气体检测元件，所述气体检测元件包括晶体振荡器和设置在所述晶体振荡器上的吸附特定的气体的吸附膜，所述检测装置的特征在于：
所述气体检测元件具有使所述气体检测元件的晶体阻抗成为没有形成所述吸附膜的所述晶体振荡器的晶体阻抗的10倍以下的厚度。
4.如权利要求3所述的检测装置，其特征在于：
所述检测装置还包括：
湿度检测元件；和
基于所述湿度检测元件的检测结果修正所述气体检测元件的检测结果的修正运算部。
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