[发明专利]一种用于激光剥蚀的载样装置

权利要求书

1.一种用于激光剥蚀的载样装置，包括样品腔、载气入口和出气口，其特征在于，还包括靶座和基座，所述基座设有固定孔，固定件于所述固定孔处将所述基座固定在适配板上，所述出气口包括空气出口和气溶胶出口，所述靶座和所述基座密封连接并形成空气通道、气溶胶通道和所述样品腔，其中，

所述样品腔的顶部设有收缩口，且所述收缩口位于所述气溶胶通道的下表面；

所述样品腔内设有弹簧，所述弹簧用于使样品靶被限位于所述样品腔、并被顶抵于所述收缩口处；

所述样品腔的下部表面设有开口，所述开口通过所述空气通道连通所述空气出口；

所述空气出口处设有截止阀，所述截止阀用于打开及关闭所述空气出口；

所述气溶胶通道的一端连通所述载气入口，其另一端连通所述气溶胶出口，所述气溶胶通道的顶部包括第一透光材料，以使激光通过所述第一透光材料透射所述气溶胶通道的顶部并剥蚀所述样品靶。

2.根据权利要求1所述的载样装置，其特征在于，所述载气入口处设有多孔筛导流板，以用于对载气导流。

3.根据权利要求1所述的载样装置，其特征在于，所述样品腔的顶部设有阻挡片，所述阻挡片的中部设有开口，以形成所述收缩口。

4.根据权利要求1所述的载样装置，其特征在于，所述载气入口和所述气溶胶出口分别位于所述靶座对向的两个侧面，所述气溶胶通道位于所述靶座内，所述气溶胶通道的中部呈扁平的长方体状。

5.根据权利要求1所述的载样装置，其特征在于，所述靶座包括上腔体，所述基座包括下腔体，所述弹簧的一端固设于所述下腔体，所述靶座与所述基座之间通过O型密封圈密封，所述上腔体和所述下腔体相对应并形成所述样品腔。

6.根据权利要求1所述的载样装置，其特征在于，所述靶座包括第一透光片和第一阶梯槽，所述第一阶梯槽设于所述靶座的顶表面，所述第一透光片密封地设于所述第一阶梯槽的槽口处，所述第一透光片由所述第一透光材料形成，所述第一透光材料包括萤石玻璃或透紫外石英玻璃。

7.根据权利要求1所述的载样装置，其特征在于，所述基座包括第二透光片和第二阶梯槽，所述第二阶梯槽设于所述基座的底表面，所述第二透光片密封地设于所述第二阶梯槽的槽口处,所述空气通道位于所述基座内，所述空气出口位于所述基座的侧面。

8.根据权利要求1所述的载样装置，其特征在于，所述气溶胶通道的体积:0mlV5ml,所述气溶胶通道的截面积：0cm²S0.5cm²,所述气溶胶通道的顶表面至所述样品靶的上表面的高度为：0.5mm≤H≤3.0mm。

9.根据权利要求1所述的载样装置，其特征在于，所述收缩口的形状和所述样品靶的形状相配合，以使所述收缩口被所述样品靶覆盖。

10.根据权利要求1所述的载样装置，其特征在于，所述样品腔的数量为：6个≤N≤15个，所述样品腔之间通过所述空气通道串联连通。