[发明专利]OLED蒸镀装置及系统

权利要求书

1.一种OLED蒸镀装置，其特征在于，与控制装置电连接；所述OLED蒸镀装置包括腔体及设置于所述腔体内的两个或两个以上蒸镀设备；所述腔体内设有两个或两个以上能够容纳所述蒸镀设备的腔室，各所述腔室分别对应蒸镀过程不同的阶段，且每个所述蒸镀设备经过所有所述腔室后完成一次蒸镀过程；所有所述腔室中包括用于更换所述蒸镀设备内的有机材料的加料腔室；所述腔体内还包括移动机构；所述控制装置用于通过所述移动机构控制不同的所述蒸镀设备同时进入不同的所述腔室，并控制各所述蒸镀设备循环执行依次进入各所述腔室的动作。

2.根据权利要求1所述的OLED蒸镀装置，其特征在于，所有所述腔室中还包括用于供所述蒸镀设备进行蒸镀的蒸镀腔室。

3.根据权利要求2所述的OLED蒸镀装置，其特征在于，所有所述腔室中还包括升温腔室；所述升温腔室位于所述加料腔室的出口与所述蒸镀腔室的入口之间；所述控制装置用于控制所述蒸镀设备内的加热源在所述升温腔室内进行升温。

4.根据权利要求2所述的OLED蒸镀装置，其特征在于，所有所述腔室中还包括降温腔室；所述降温腔室位于所述蒸镀腔室的出口与所述加料腔室的入口之间；所述控制装置用于控制所述蒸镀设备内的加热源在所述降温腔室内进行降温。

5.根据权利要求1至4中任一项权利要求所述的OLED蒸镀装置，其特征在于，相邻的两个所述腔室连接。

6.根据权利要求5所述的OLED蒸镀装置，其特征在于，相邻的两个所述腔室之间通过门体组件隔开。

7.根据权利要求6所述的OLED蒸镀装置，其特征在于，所述门体组件包括闸板阀。

8.根据权利要求1至4中任一项权利要求所述的OLED蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀设备内在位于有机材料与高精度金属掩模板之间的位置设有挡板组件；所述挡板组件用于在蒸镀时打开以使得有机材料能够蒸镀至玻璃基板上，且在蒸镀完成后闭合以使得蒸镀完成后继续蒸发的所述有机材料沉积至所述挡板组件上。

9.一种OLED蒸镀系统，其特征在于，包括控制装置及权利要求1至8中任一项权利要求所述的OLED蒸镀装置。