[发明专利]用于石墨烯转移时铜箔定向腐蚀的方法

权利要求书

1.用于石墨烯转移时铜箔定向腐蚀的方法，包括以下步骤：

步骤1、使用聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）旋涂在石墨烯表面形成保护层，加热固化PMMA，形成PMMA-石墨烯-铜箔；

步骤2、配置能腐蚀铜的腐蚀溶液，在腐蚀溶液两端添加板电极并通以恒定电流，通过外加电流场在腐蚀溶液中形成稳定电场，加上电流场之后，铜箔相当于被腐蚀溶液连接到电极上；

步骤3、将PMMA-石墨烯-铜箔漂 在步骤2的腐蚀溶液液面上，铜箔与腐蚀溶液接触，等待腐蚀溶液溶解铜箔，形成PMMA-石墨烯；

步骤4、铜箔腐蚀完成后，利用玻璃片从溶液下方将PMMA-石墨烯从溶液中捞起放入去离子水中清洗；

步骤5、使用目标基底将石墨烯捞起垂直晾干，利用重力让石墨烯与基底之间的水分慢慢流失；

步骤6、水分控干之后加热基底，去除基底和石墨烯之间残留的水分并且加强石墨烯与基底的结合。

步骤7、使用有机溶剂去除石墨烯表面的PMMA，获得石墨烯-基底样品，

步骤8、用异丙醇清洗石墨烯-基底样品样品表面并晾干。

2.根据权利要求1所述的用于石墨烯转移时铜箔定向腐蚀的方法，其特征在于：步骤2中的腐蚀溶液是浓度为1摩尔每升的FeCl₃溶液。