[发明专利]一种微流量控制装置多层孔板多通道节流组件的制造方法

权利要求书

1.一种微流量控制装置多层孔板多通道节流组件的制造方法，其特征在于：包括如下步骤：

第一步：采用光刻的方法对孔板(1)双面进行刻蚀；

第二步：对光刻后的孔板(1)进行阵列微孔激光加工；

第三步：将激光加工后的孔板(1)和盖板(2)真空加压扩散焊接；

所述孔板(1)和盖板(2)的形状均为圆形，孔板(1)两侧非对称分布有凹槽和盲孔，盖板(2)中部设有一个通孔；

所述第一步中，包括如下步骤：

步骤1.1，对孔板(1)进行刷板处理并涂覆抗蚀层，进行第一次成像；

步骤1.2，第一次成像显影后，对孔板(1)进行第一次修正，待修板墨干燥后，对孔板(1)进行第一次刻蚀，在刻蚀设备中加入腐蚀液，对孔板(1)两侧非对称分布的凹槽和盲孔同时进行刻蚀；

步骤1.3，对第一次刻蚀后的孔板(1)进行第二次成像；

步骤1.4，第二次成像显影后，对第一次刻蚀后的孔板(1)进行修正，待修板墨干燥后，对第一次刻蚀后的孔板(1)进行第二次刻蚀，在刻蚀设备中对第一次刻蚀后的孔板(1)外圆进行全刻蚀；

步骤1.5，对第二次刻蚀后的孔板(1)进行去膜处理；

所述第二步中，包括如下步骤：

步骤2.1，将光刻后的孔板(1)安装在加工平台上，激光找正待加工微孔的中心；

步骤2.2，利用飞秒激光旋转切除法连续扫描加工区域，微孔成型；

步骤2.3，微孔通过显微系统在线尺寸检测；

步骤2.4，将激光加工后的孔板(1)清洗并包装；

所述第三步中，包括如下步骤：

步骤3.1，将激光加工后的孔板(1)和盖板(2)装配并放置在真空炉中，使激光加工后的孔板(1)和盖板(2)外圆重合；

步骤3.2，焊接压头调平处理后，开始焊接，抽真空、炉内加热、压头加压、温度保持；

步骤3.3，扩散焊接后，炉冷至室温，即得到所述微流量控制装置多层孔板多通道节流组件。

2.根据权利要求1所述的一种微流量控制装置多层孔板多通道节流组件的制造方法，其特征在于：所述孔板(1)的数量不少于2个，孔板(1)采用不锈钢材料。