[发明专利]一种测试传感器响应速度的装置及其测试方法

权利要求书

1.一种测试传感器响应速度装置的测试方法，其特征在于，步骤1，采用如下测试传感器响应速度的装置，包括至少一组进气机构、测试腔体、进气孔道和排气机构，所述进气孔道和排气机构分别位于测试腔体的两侧，所述测试腔体内设有参考传感器，底部设有样品架，所述样品架上设有温度调节器、位置调节器和待测传感器；所述样品架上方设有伸入测试腔体内部的进气机构，所述进气机构包括供气罐、导气管、阀门2、导气管方位调节机构、阀门1和喷嘴，所述供气罐通过导气管依次与阀门2、阀门1和喷嘴连通，所述导气管方位调节机构、阀门1和喷嘴均在测试腔体内，且导气管方位调节机构位于阀门2与阀门1之间的导气管上；所述导气管方位调节机构、温度调节器和位置调节器均由控制模块控制；步骤2，利用软件模拟喷嘴大小、喷嘴与待测传感器相对位置、以及阀门1开关速度，即根据流体力学方法分析喷嘴处压强的均匀性，从而确定喷嘴大小、喷嘴与待测传感器相对位置、阀门1开关速度；步骤3，连接所有测试信号；准备测试目标气体和背景气体，根据分析，选择大小形状合适的喷嘴，喷嘴大小应大于待测传感器敏感表面的尺寸，确保喷出的气体能够覆盖整个传感表面积；步骤4，由进气孔道往测试腔体中通入背景气体，直到背景气体在测试腔体内分布稳定，读取参考传感器的测试值；步骤5，根据分析所获得的优化参数，调节样品架和导气管方位调节机构，使得待测传感器和喷嘴均处于合适位置；步骤6，开启喷嘴，喷入测试目标气体，使测试目标气体瞬时、直接喷射到待测传感器表面并在其周围形成局域的、稳定的浓度分布，同时记录待测传感器传出的数据，即得传感器的瞬态响应。

2.根据权利要求1所述的一种测试传感器响应速度装置的测试方法，其特征在于，步骤1中所述装置包括单组或多组进气机构。

3.根据权利要求1所述的一种测试传感器响应速度装置的测试方法，其特征在于，步骤1中所述测试腔体的内壁材料为惰性材料。

4.根据权利要求1所述的一种测试传感器响应速度装置的测试方法，其特征在于，所述的阀门1的打开速度小于1秒。

5.根据权利要求1所述的一种测试传感器响应速度装置的测试方法，其特征在于，阀门1与喷嘴出口的距离小于10厘米。