[发明专利]一种柔性力敏传感器及其制备方法、阵列器件和应用

权利要求书

1.一种柔性力敏传感器的制备方法，其特征在于，其包括以下步骤：

将PDMS基底与固化剂按5:1的重量比混合，得到PDMS预聚物；对所述PDMS预聚物进行一次搅拌后，加入炭黑并进行二次搅拌，得到炭黑/PDMS油墨初产物；所述二次搅拌结束后，在真空条件下除去所述炭黑/PDMS油墨初产物的气泡，得到炭黑/PDMS油墨；

将所述炭黑/PDMS油墨旋涂于表面具有微结构的毛玻璃片模具上，并进行固化处理，进而再将固化后的炭黑/PDMS油墨从所述毛玻璃片模具上剥离出来，得到表面微图案化的炭黑/PDMS薄膜；

在所述炭黑/PDMS薄膜无所述微图案的一侧表面上设置金属电极，得到传感器柔性薄膜电极；

将所述传感器柔性薄膜电极进行切割后，将切割得到的两片传感器柔性薄膜电极片叠放，进而引出导线并进行封装；其中，两片所述传感器柔性薄膜电极片具有所述微图案的表面相对地贴合在一起。

2.根据权利要求1所述的柔性力敏传感器的制备方法，其特征在于，所述一次搅拌和所述二次搅拌均为机械搅拌方式；其中，所述一次搅拌的时间为5-8min；所述二次搅拌的时间为30-40min。

3.根据权利要求1所述的柔性力敏传感器的制备方法，其特征在于，在将所述炭黑/PDMS油墨旋涂于所述毛玻璃片模具上时，旋涂速度为每分钟600-610转。

4.根据权利要求1所述的柔性力敏传感器的制备方法，其特征在于，进行所述固化处理时，固化条件为70℃下固化2小时。

5.根据权利要求1所述的柔性力敏传感器的制备方法，其特征在于，设置所述金属电极时，采用MEMS磁控溅射或蒸镀工艺。

6.根据权利要求1所述的柔性力敏传感器的制备方法，其特征在于，进行所述封装时采用Kapton胶带。

7.根据权利要求1-6任意一项所述的柔性力敏传感器的制备方法，其特征在于，得到所述炭黑/PDMS油墨初产物的过程中，所述PDMS预聚物与所述炭黑的质量比为15：1。

8.一种柔性力敏传感器，其特征在于，所述柔性力敏传感器根据权利要求1-7任意一项所述的柔性力敏传感器的制备方法制得。

9.一种如权利要求8所述的柔性力敏传感器的应用，其特征在于，所述柔性力敏传感器应用于电子皮肤中。

10.一种柔性力敏传感器阵列器件，其特征在于，所述柔性力敏传感器阵列器件是通过将多个权利要求8中所述的柔性力敏传感器进行整体封装并引出导线后得到的。