[发明专利]一种容器检漏方法及容器检漏系统在审
申请号: | 201810230361.3 | 申请日: | 2018-03-20 |
公开(公告)号: | CN108489689A | 公开(公告)日: | 2018-09-04 |
发明(设计)人: | 周少丰;蒋羽铃;洪志丹 | 申请(专利权)人: | 深圳市星汉激光科技有限公司 |
主分类号: | G01M3/32 | 分类号: | G01M3/32 |
代理公司: | 深圳市六加知识产权代理有限公司 44372 | 代理人: | 许铨芬 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 检漏 容器检漏系统 密闭柜 容置腔 偏移量判断 密封盖板 偏移量 气压 气压改变装置 检测模块 判断模块 收容容器 漏洞 检测 | ||
本发明涉及检漏技术领域,公开了一种容器检漏方法及容器检漏系统,所述方法包括:将容器置于密闭柜内;改变所述密闭柜内的气压;检测所述容器的密封盖板的偏移量;根据所述偏移量判断所述容器是否存在漏洞。所述系统包括:密闭柜,设置有收容容器的容置腔;气压改变装置,与所述容置腔相连通,用于改变所述容置腔内的气压;检测模块,用于检测所述容器的密封盖板的偏移量;判断模块,用于根据所述偏移量判断所述容器是否存在漏洞。与现有技术相比,本发明的容器检漏方法简单、检漏效率高;本发明的容器检漏系统结构简单、成本较低。
技术领域
本发明涉及检漏技术领域,特别是涉及一种容器检漏方法及容器检漏系统。
背景技术
半导体激光器、光探测器、相位调制器、光收发器、光开关、光波分复用器、分路器、以及各固体、气体、染料激光器等,从20世纪60年第一束激光的问世至今,由于激光器具备的种种突出特点,因而被很快运用于工业、农业、精密测量和探测、通讯与信息处理、医疗、军事等各方面,并在许多领域引起了革命性的突破。比如,人们利用激光集中而极高的能量,可以对各种材料进行加工;激光作为一种在生物机体上引起刺激、变异、烧灼、汽化等效应的手段,已在医疗、农业的实际应用上取得了良好效果;在通信领域,一条用激光柱传送信号的光导电缆,可以携带相当于2万根电话铜线所携带的信息量;在军事上除用于通信、夜视、预警、测距等方面外,多种光武器和光制导武器也已经投入实用。光电子器件对寿命可靠性的要求非常严苛,大多数光器件和激光器核心的工作部件都需要做密封处理,以防止在恶劣的工作环境和长期的使用中水汽分子,油气分子和环境中的微小灰尘颗粒进入光电子器件内部,从而破坏芯片、镀膜镜片,导致产品损坏,因此,光电子器件的检漏就显得尤为重要。
本发明的发明人在实现本发明的过程中发现:目前,光电子器件的检漏,分为精检漏和粗检漏,所述精检漏通用高压氦气,然后通过氦质谱检漏仪测量光电子器件的漏率;粗检漏是通过把光电子器件放在80℃左右的氟油中浸泡,然后通过观察光电子器件的表面是否冒气泡来判断光电子器件的腔体是否存在漏洞,光电子器件的这两种检漏方式复杂、且效率低下。
发明内容
为了解决现有技术中的光电子器件的检漏方法复杂、效率低下的问题,本发明实施例提供一种简单、效率高的容器检漏方法及容器检漏系统。
第一方面,本发明实施例提供了一种容器检漏方法,包括:
将容器置于密闭柜内;
改变所述密闭柜内的气压;
检测所述容器的密封盖板的偏移量;
根据所述偏移量判断所述容器是否存在漏洞。
在一些实施例中,所述改变所述密闭柜内的气压包括:对所述密闭柜抽真空;
所述检测所述容器的密封盖板的偏移量包括:检测所述密封盖板的向上偏移量;
所述根据所述偏移量判断所述容器是否存在漏洞包括:若所述向上偏移量达到标定值,则可判断所述容器不存在漏洞;若所述向上偏移量未达到标定值,则可判断所述容器存在漏洞。
在一些实施例中,所述改变所述密闭柜内的气压包括:对所述密闭柜抽真空,然后向所述密闭柜中通入高压氦气;
所述检测所述容器的密封盖板的偏移量包括:检测所述密封盖板的向下偏移量;
所述根据所述偏移量判断所述容器是否存在漏洞包括:若所述向下偏移量达到标定值,则可判断所述容器不存在漏洞;若所述向下偏移量未达到标定值,则可判断所述容器存在漏洞。
在一些实施例中,所述改变所述密闭柜内的气压包括:向所述密闭柜中通入高压气体;
所述检测所述容器的密封盖板的偏移量包括:检测所述密封盖板的向下偏移量;
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