[发明专利]一种液晶可变相位延迟器偏振特性检测方法及系统

权利要求书

1.一种液晶可变相位延迟器的偏振特性检测方法，其特征在于，包括如下步骤：

第1步：将待检测LCVR两端的驱动电压调到0V；将待检测LCVR放置在穆勒矩阵椭偏仪的样品台上，调整样品台、穆勒矩阵椭偏仪的起偏臂和检偏臂的位姿，使待检测LCVR的中心与穆勒矩阵椭偏仪的起偏臂和检偏臂的中心线共线，光束垂直入射到待检测LCVR，并且光束光斑能够全部通过待检测LCVR；

第2步：测量待检测LCVR在电压为U时测得的穆勒矩阵M_c(U)：

其中，

Γ为所要检测LCVR特征参数的电压变化范围，

U为电压范围Γ中的任意一个电压，

m_ij(U)为在电压为U时LCVR测量穆勒矩阵M_c(U)中第i行第j列归一化元素，i＝1,2,3,4；j＝1,2,3,4；

第3步：式(2)所示的M_c(U)与待检测LCVR在电压为U时的相位延迟量δ(U)、快轴方位角θ(U)的关系如下：

联立式(2)、式(3)得到待检测LCVR在电压为U时的相位延迟量δ(U)、快轴方位角θ(U)；

第4步：改变LCVR两端的电压U的值，重复第2～3步，得到不同驱动电压下LCVR的相位延迟量δ(U)、快轴方位角θ(U)；重复直至驱动电压U覆盖所选电压范围Γ，得到待检测LCVR随电压变化的偏振特征参数曲线U-δ(U)和U-θ(U)，U∈Γ。

2.如权利要求1所述的一种液晶可变相位延迟器的偏振特性检测方法，其特征在于，在第4步中，记录不同电压U对应的光信号的m_ij(U)，并绘制U-m_ij(U)曲线图，进而得到待检测LCVR的穆勒矩阵曲线。

3.一种液晶可变相位延迟器的偏振特性检测系统，其特征在于，包括穆勒矩阵椭偏仪、驱动电源、偏振特征参数解算程序模块、偏振特性曲线绘制程序模块；以及处理器；

穆勒矩阵椭偏仪包括样品台、光源、起偏臂、检偏臂以及探测器；样品台用于承载待检测LCVR；起偏臂、待检测LCVR、检偏臂三者的中心在同一条直线上；

光源发出的光经过起偏臂的调制后透过待检测LCVR进入检偏臂，经检偏臂进一步调制后被探测器接收；

探测器用于将接收到的光信号传输至处理器；

驱动电源用于向待检测LCVR提供电压U；

偏振特征参数解算程序模块预设有在电压U下待检测LCVR的穆勒矩阵M_c(U)与相位延迟量δ(U)、快轴方位角θ(U)的对应关系，该对应关系如下：

其中，

Γ为所要检测LCVR特征参数的电压变化范围，

U为电压变化范围Γ中的任意一个电压值，

m_ij(U)为在电压为U时LCVR测量穆勒矩阵M_c(U)中第i行第j列归一化元素，i＝1,2,3,4；j＝1,2,3,4；

偏振特性曲线绘制程序模块在被处理器调用时，执行如下步骤：

记录根据不同电压U解算出的对应的相位延迟量δ(U)和快轴方位角θ(U)，并绘制偏振特征参数曲线U-δ(U)和U-θ(U)；

处理器连接驱动电源以控制驱动电源改变输出电压U的值，U∈Γ，处理器还用于调用偏振特征参数解算程序模块根据探测器上传的光信号获得待检测LCVR的穆勒矩阵M_c(U)进而根据式(2)、(3)解算出待检测LCVR的相位延迟量δ(U)和快轴方位角θ(U)。

4.如权利要求3所述的一种液晶可变相位延迟器的偏振特性检测系统，其特征在于，包括穆勒矩阵曲线绘制程序模块，用于在被处理器调用时，执行如下步骤：记录不同电压U对应的光信号的m_ij(U)，并绘制U-m_ij(U)曲线图，进而得到待检测LCVR的穆勒矩阵曲线。