[发明专利]蒸镀掩模用基材及其制造方法、蒸镀掩模及显示装置的制造方法

权利要求书

1.一种蒸镀掩模用基材，是具有带状的金属板，通过蚀刻而形成有多个孔，被用于蒸镀掩模的制造，其中，

上述金属板的长度方向上的各位置处的沿着上述金属板的宽度方向的形状相互不同，各形状具有在上述金属板的宽度方向上反复的波；

从上述波的一个谷连结到另一个谷的宽度方向的直线的长度是波的长度；

上述波的高度相对于上述波的长度的百分率是上述宽度方向上的单位陡峭度；

上述长度方向上的单位长度是500mm；

上述单位长度的金属板中的上述宽度方向上的单位陡峭度的最大值是上述宽度方向上的第1陡峭度；

上述第1陡峭度是0.5％以下。

2.如权利要求1所述的蒸镀掩模用基材，其中，

在上述金属板的长度方向上的各位置，上述金属板的宽度方向上的单位陡峭度的最大值是第2陡峭度；

上述单位长度的金属板中的上述第2陡峭度的平均值是0.25％以下。

3.如权利要求1或2所述的蒸镀掩模用基材，其中，

在上述金属板的长度方向上的各位置，上述金属板的宽度方向上所包含的波的数量是波数；

上述单位长度的金属板中的上述波数的最大值是4个以下。

4.如权利要求1或2所述的蒸镀掩模用基材，其中，

在上述金属板的长度方向上的各位置，上述金属板的宽度方向上所包含的波的数量是波数；

上述单位长度的金属板中的上述波数的平均值是2个以下。

5.一种蒸镀掩模用基材的制造方法，所述蒸镀掩模用基材是具有带状的金属板，通过蚀刻而形成有多个孔，被用于蒸镀掩模的制造，其中，

上述制造方法包括将母材轧制而得到上述金属板的工序；

上述金属板的长度方向上的各位置处的沿着上述金属板的宽度方向的形状相互不同，各形状具有在上述金属板的宽度方向上反复的波；

从上述波的一个谷连结到另一个谷的宽度方向的直线的长度是波的长度；

上述波的高度相对于上述波的长度的百分率是上述宽度方向上的单位陡峭度；

上述长度方向上的单位长度是500mm；

上述单位长度的金属板中的上述宽度方向上的单位陡峭度的最大值是上述宽度方向上的第1陡峭度；

将上述母材轧制，以使上述第1陡峭度是0.5％以下。

6.一种蒸镀掩模的制造方法，包括在具有带状的金属板上形成抗蚀剂层的工序、和通过以上述抗蚀剂层为掩模的蚀刻而在上述金属板上形成多个孔来形成掩模部的工序，其中，

上述金属板的长度方向上的各位置处的沿着上述金属板的宽度方向的形状相互不同，各形状具有在上述金属板的宽度方向上反复的波；

从上述波的一个谷连结到另一个谷的宽度方向的直线的长度是波的长度；

上述波的高度相对于上述波的长度的百分率是上述宽度方向上的单位陡峭度；

上述长度方向上的单位长度是500mm；

上述单位长度的金属板中的上述宽度方向上的单位陡峭度的最大值是上述宽度方向上的第1陡峭度；

上述第1陡峭度是0.5％以下。

7.如权利要求6所述的蒸镀掩模的制造方法，其中，

形成上述掩模部的工序是在单一的上述金属板上形成多个上述掩模部的工序；

上述各掩模部分别具备具有上述多个孔的1个侧面；

上述蒸镀掩模的制造方法还包括如下工序：将上述各掩模部的侧面与1个框部相互接合，以便按照每个上述掩模部，由上述1个框部将上述多个孔包围。

8.一种显示装置的制造方法，其中，

包括如下工序：

准备由权利要求6或7所述的蒸镀掩模的制造方法形成的蒸镀掩模；

通过使用了上述蒸镀掩模的蒸镀来形成图案。