[发明专利]带电粒子束装置以及试样加工方法

权利要求书

1.一种带电粒子束装置，其朝向试样照射带电粒子束，制成微小试样片，其特征在于，其具有：

带电粒子束镜筒，其能够朝向所述试样照射带电粒子束；

试样室，其收纳所述带电粒子束镜筒；以及

试样片支架，其能够保持所述试样，

在通过所述带电粒子束形成减小了所述试样的一部分区域的厚度的微小试样片时，在该微小试样片的根部分形成倾斜的倾斜部，

所述倾斜部被设置在微小试样片的到根部分的范围内，由此形成为在为了减轻通过所述带电粒子束形成所述微小试样片时产的加工条纹而向所述微小试样片照射氩离子束时，在所述微小试样片的根部分也不妨碍氩离子束，

通过从与所述带电粒子束相交且与所述倾斜部平行的方向向所述微小试样片照射氩离子束，从而在所述微小试样片的整个区域减轻加工条纹。

2.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

所述倾斜部是参照扫描型电子显微镜所获得的所述倾斜部的SEM图像而形成的。

3.一种试样加工方法，其是朝向试样照射带电粒子束，制成减小了所述试样的一部分区域的厚度的微小试样片的试样加工方法，其特征在于，其具有倾斜部形成工序，

在该倾斜部形成工序中，通过所述带电粒子束的照射，沿所述试样的厚度方向重叠形成多个去除区域，所述去除区域具有沿所述厚度方向的规定的加工厚度和沿与所述厚度方向垂直的宽度方向的加工宽度，每次重叠所述去除区域时阶段地减小所述加工宽度，由此在与所述微小试样片的减薄部分相邻的部分形成相对于所述减薄部分倾斜的倾斜部，

所述倾斜部被设置在微小试样片的到根部分的范围内，由此形成为在为了减轻通过所述带电粒子束形成所述微小试样片时产的加工条纹而向所述微小试样片照射氩离子束时，在所述微小试样片的根部分也不妨碍氩离子束，

所述试样加工方法还具有氩离子束照射工序，在该氩离子束照射工序中，通过从与所述带电粒子束相交且与所述倾斜部平行的方向向所述微小试样片照射氩离子束，从而在所述微小试样片的整个区域减轻加工条纹。

4.根据权利要求3所述的试样加工方法，其特征在于，

所述倾斜部形成工序中的各个去除区域的所述加工厚度和所述加工宽度是参照扫描型电子显微镜所获得的所述倾斜部的SEM图像而确定的。

5.根据权利要求4所述的试样加工方法，其特征在于，

所述试样是在基材的内部沿所述厚度方向重叠多个埋设层而形成的，

在所述倾斜部形成工序中，使用所述SEM图像对所述倾斜部中露出的所述埋设层的数量进行计数，来确定加工终点。

6.根据权利要求3至5中的任意一项所述的试样加工方法，其特征在于，

在所述倾斜部形成工序中，使所述减薄部分和作为与所述减薄部分相邻的部分的倾斜部相互在10°以上且小于90°的范围内倾斜。