[发明专利]光学滤波器

权利要求书

1.一种光学滤波器，其特征在于，包括：

第一反射镜，以及至少包含一第二反射镜的法布里-珀罗谐振腔，所述第一反射镜的反射率大于第一预设值；所述第二反射镜的中心波长位于所述第一反射镜的反射谱中以预设波长为中心的第一预设波长范围内；

所述第一反射镜设置在所述法布里-珀罗谐振腔内，在所述第一反射镜的两侧分别设置有光学优化层，所述光学优化层用于使所述光学滤波器在反射光谱区内包含所述预设波长的第二预设波长范围内的反射率小于第二预设值；

所述预设波长为所述第一反射镜的反射谱中短波长方向最靠近反射带的第一个波腹点对应的波长，或所述第一反射镜的反射谱中长波长方向最靠近反射带的第一个波腹点对应的波长；

所述第一预设值为90％，所述第二预设值为10％。

2.根据权利要求1所述的光学滤波器，其特征在于，所述第一反射镜为分布布拉格反射镜。

3.根据权利要求1所述的光学滤波器，其特征在于，所述法布里-珀罗谐振腔还包括：第三反射镜；

所述第三反射镜为分布布拉格反射镜，或者所述第三反射镜由设定材料与空气界面形成。

4.根据权利要求1所述的光学滤波器，其特征在于，所述光学优化层的材料和厚度根据需要进行设置，以使所述光学滤波器在反射光谱区内包含所述预设波长的第二预设波长范围内的反射率小于第二预设值。

5.根据权利要求1所述的光学滤波器，其特征在于，所述光学优化层的层数为1-3层。

6.根据权利要求1所述的光学滤波器，其特征在于，包括：所述第一预设波长范围为40nm的波长范围。

7.根据权利要求1所述的光学滤波器，其特征在于，包括：所述第二预设波长范围至少为10nm的波长范围。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的光学滤波器，其特征在于，所述光学滤波器还包括：光学滤波器衬底；

所述第二反射镜设置在所述光学滤波器衬底上。

9.根据权利要求8所述的光学滤波器，其特征在于，所述光学滤波器的材料是介质膜材料或半导体材料，或者由半导体材料与介质膜材料共同形成的材料。