[发明专利]一种太阳能薄膜烘烤腔室

说明书

本发明涉及太阳能薄膜制造技术领域，尤其涉及一种太阳能薄膜烘烤腔室，包括腔体，腔体内包括依次连通的进风区、烘烤区和排风区，进风区内设有加热装置，烘烤区内放置太阳能薄膜。本发明在腔体内设置依次连通的进风区、烘烤区和排风区，太阳能薄膜在烘烤区中进行高温烘烤，由进风区进入的气体将烘烤后烘烤区中产生的HF气体带出进入排风区排出，外界气体进入进风区，由加热装置加热后进入烘烤区，既能及时地将烘烤出来的HF气体排放出去，又可以维持烘烤温度减少热损失，保证烘烤区内烘烤温度的均匀性和一致性，同时保证大产能连续烘烤，以此在腔体内形成一种合理进风和排风热风循环风路，提高太阳能薄膜在生产中的烘烤质量和烘烤效率。

技术领域

本发明涉及太阳能薄膜制造技术领域，尤其涉及一种太阳能薄膜烘烤腔室。

背景技术

目前工业烘烤系统中常见的进风和排风设计特点：

1.旋转电机旋转，设备外部空气大风量进风被加热，形成热风循环升温达到目标温度；

2.达到目标温度后，从大风量转为小风量进风和排风，PID(比例-积分-微分)控制和调节风量从而保证温度均匀性；

3.考虑腔体结构的简单性和易维护性，排风口一般都在腔体上盖处一端，进风口在腔体上盖处的另外一端或者腔室底部，并要与排风口留有一定距离并形成循环；

4.一般进风口在加热装置的前端，经过加热后的热风进入腔体，腔体内烘烤后的热风再排出。

HF(氢氟酸)气体烘烤系统的设计需求：

(1)热风循环加热，不能使用红外或者电磁等加热；

(2)被烘烤对象薄膜中有残余的HF，需要高温烘烤将其蒸发出来；

(3)最高烘烤温度：200℃；

(4)温度均匀性：±3℃；

(5)最长固烤时间：60min(不包含升温时间)；

(6)UPH(units per hour)800，高产能要求不能单片烘烤，需要载具(Cassette，简称CST)多片连续烘烤。

如果采用目前常用的工业烘烤系统，高温、温度均匀性以及热风循环加热都能满足要求，但是不能保证蒸发出来的HF气体及时和完全排出；如果增大排风量，则不能保证温度均匀性且增加热损耗，还不能满足大产能节拍的要求；小排风量则不能保证及时和完全排出HF气体。

发明内容

(一)要解决的技术问题

本发明要解决的技术问题是解决现有的烘烤腔室难以保证蒸发出来的HF气体及时和完全排出，且不能保证烘烤温度的均匀性，容易增加热损耗的问题。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种太阳能薄膜烘烤腔室，包括腔体，所述腔体内包括依次连通的进风区、烘烤区和排风区，所述进风区内设有加热装置，所述烘烤区内放置太阳能薄膜。

其中，所述进风区包括混合区和加热区，所述加热装置设置于所述加热区内，所述混合区位于所述腔体的顶部，所述加热区位于所述腔体的一侧。

其中，所述腔体在所述混合区的位置上设有进风口，所述进风口与所述加热装置之间相距预设距离。

其中，所述混合区内还设有驱动气体流动的驱动装置，所述驱动装置位于所述进风口与所述加热装置之间。

其中，所述腔体内还包括隔离室，所述驱动装置设置于所述隔离室内，所述隔离室内还设有传感元件。

其中，所述排风区位于所述腔体的另一侧，与所述加热区相对设置。