[发明专利]可用于增强现实眼镜的多层结构光栅在审
申请号: | 201810242300.9 | 申请日: | 2018-03-22 |
公开(公告)号: | CN108387960A | 公开(公告)日: | 2018-08-10 |
发明(设计)人: | 李晴;黄河;林涛;楼歆晔 | 申请(专利权)人: | 上海鲲游光电科技有限公司 |
主分类号: | G02B5/18 | 分类号: | G02B5/18;G02B27/01 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 刘静;邱启旺 |
地址: | 201203 上海市浦东新区自*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光栅 多层结构 衍射效率 视场角 正入射 光源 增强现实 可用 眼镜 纳米压印技术 光栅折射率 三角形光栅 折射率材料 光栅结构 矩形光栅 刻蚀技术 双层矩形 制作方便 基底层 空气层 光刻 三层 脱模 叠加 生产 | ||
1.一种可用于增强现实眼镜的多层结构光栅,其特征在于,该多层结构光栅由不同折射率材料的光栅直接叠加而成,每层光栅折射率由靠近基底层至靠近空气层依次降低。
2.根据权利要求1所述的一种可用于增强现实眼镜的多层结构光栅,其特征在于,每层光栅折射率取值范围均在1.4~1.9之间;该多层结构光栅印在基底层上,即平面光波导上,用于光的耦合,耦合进平面光波导的光需在平面光波导内传输,需要满足全反射条件,为保证入射光在平面光波导的衍射角度大于反射临界角,每层光栅周期均在500nm以内。
3.根据权利要求1所述的一种可用于增强现实眼镜的多层结构光栅,其特征在于,每层光栅的形状类型选自矩形光栅、三角形光栅、梯形光栅、正弦光栅等易生产加工的光栅。
4.根据权利要求1所述的一种可用于增强现实眼镜的多层结构光栅,其特征在于,所有光栅的形状类型相同且周期相同,以便于生产加工。
5.根据权利要求4所述的一种可用于增强现实眼镜的多层结构光栅,其特征在于,该多层结构光栅包括双层矩形光栅,均采用光学高聚物材料;上下两层光栅的周期均为450nm;上层矩形光栅折射率记为n1,齿高230nm,占空比39.66%;中间层折射率记为n2,厚度2.50μm;下层矩形光栅折射率记为n3,齿高1.00μm,占空比70.40%,其左侧壁相对于上层矩形光栅左侧壁向左偏移10nm;基底层折射率记为n4;其中n4=n3,n1=n2,且n3>n2。
6.根据权利要求5所述的一种可用于增强现实眼镜的多层结构光栅,其特征在于,当入射光波长λ=532nm时,n1=1.55,n2=1.55,n3=1.72,n4=1.72。
7.根据权利要求4所述的一种可用于增强现实眼镜的多层结构光栅,其特征在于,所述多层结构光栅包括双层三角形光栅,均采用光学高聚物材料;上下两层光栅的周期均为450nm;上层三角形光栅折射率记为n1,齿高1μm,底边200nm,左底角36.90°;中间层折射率记为n2,厚度1.77μm;下层三角形光栅折射率记为n3=1.72,齿高1.00μm,底边200nm,左底角53.40°,其左底角顶点相对于上层三角形光栅左底角顶点向左偏移了20nm;基底层折射率记为n4;其中n4=n3,n1=n2,且n3>n2。
8.根据权利要求7所述的一种可用于增强现实眼镜的多层结构光栅,其特征在于,当入射光波长λ=532nm时,n1=1.55,n2=1.55,n3=1.72,n4=1.72。
9.根据权利要求5所述的一种可用于增强现实眼镜的多层结构光栅,其特征在于,所述多层结构光栅包括三层矩形光栅,均采用光学高聚物材料;上中下三层光栅的周期均为450nm;上层矩形光栅折射率记为n1,齿高230nm,占空比40.25%;第一中间层折射率记为n2,厚度2.54μm;中层矩形光栅折射率记为n3,齿高1.00μm,占空比23.85%,其左侧壁相对于上层矩形光栅左侧壁向左偏移20nm;第二中间层折射率记为n4,厚度2.02μm;下层矩形光栅折射率记为n5,齿高1.00μm,占空比23.64%,其左侧壁相对于中层矩形光栅左侧壁向左偏移20nm;基底层折射率记为n6;其中n6=n5,n4=n3,n1=n2,且n5>n3>n2。
10.根据权利要求9所述的一种可用于增强现实眼镜的多层结构光栅,其特征在于,当入射光波长λ=532nm时,n1=1.55,n2=1.55,n3=1.64,n4=1.64,n5=1.72,n6=1.72。
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