[发明专利]一种真空度检测系统及方法

权利要求书

1.一种真空度检测系统，其特征在于，包括：

真空室；

用于对所述真空室抽真空的真空发生器；

用于读取所述真空室内真空度的负压压力表；

用于控制所述真空室放气的第一电磁阀；

待检测真空度上限和真空度下限的真空传感器；

及控制器；

所述真空发生器、所述负压压力表、所述真空传感器及所述第一电磁阀均与所述真空室连接，所述负压压力表及所述真空传感器还与所述控制器连接；

还包括第一排气节流阀，所述第一排气节流阀、所述第一电磁阀依次设置连接于所述真空室上，所述第一排气节流阀用于控制所述真空室的负压升高速度的快慢；

还包括第二电磁阀及第二排气节流阀，所述第二电磁阀、所述第二排气节流阀依次连接于所述真空发生器及所述真空室之间，所述第二排气节流阀用于控制所述真空室的负压降低速度的快慢。

2.一种采用如权利要求1所述的真空度检测系统的真空度检测方法，其特征在于，步骤具体包括：

S100、对真空室抽真空，当真空传感器向控制器反馈信号时，控制器读取此时的第一真空度，真空室到达一设定真空度时停止抽真空，进入下一步骤；

S200、对真空室放气，当真空传感器向控制器反馈信号时，控制器读取此时的第二真空度；

检测的所述第一真空度即是所述真空传感器的真空度下限，检

测的所述第二真空度即是所述真空传感器的真空度上限。

3.根据权利要求2所述的真空度检测方法，其特征在于，在所述步骤S100之前还包括：

S0：在控制器中预先设置一设定真空度，所述设定真空度根据待检测的所述真空传感器确定。

4.根据权利要求2所述的真空度检测方法，其特征在于，所述步骤S100具体包括：

步骤S101、打开第二电磁阀，通过真空发生器对真空室进行抽真空；

步骤S102、控制器间隔一设定时间读取由负压压力表检测的一真空度；

步骤S103、真空室内负压降低，真空度降低至真空传感器的真空度下限时，真空传感器向控制器反馈信号，控制器获取此时读取的第一真空度；

步骤S104、继续抽真空，当真空室到达一设定真空度时停止抽真空。

5.根据权利要求2所述的真空度检测方法，其特征在于，所述步骤S200具体包括：

步骤S201、打开第一电磁阀对真空室进行放气；

步骤S202、控制器间隔一设定时间读取由负压压力表检测的一真空度；

步骤S203、真空室内负压升高，真空度升高至真空传感器的真空度上限时，真空传感器向控制器反馈信号，控制器获取此时读取的第二真空度。