[发明专利]无机溶胶-凝胶法制备二氧化钒薄膜的方法

权利要求书

1.无机溶胶-凝胶法制备二氧化钒薄膜的方法，其特征在于包括以下步骤：前驱体的制备、基片的清洗、提拉法镀膜和退火处理；

(1)前驱体的制备：将称量的V₂O₅粉末置于马弗炉中升温至800-850℃，保温10-30min，待粉末完全熔融后迅速取出，倒入去离子水中，放在磁力搅拌器上进行搅拌，然后静置陈化；

(2)基片的清洗：将基片先后放于丙酮、无水乙醇中超声清洗15-30min，然后再放入稀盐酸溶液中超声清洗0.5-1h，取出后用去离子水冲洗干净，并用氮气吹干备用；

(3)提拉法镀膜；

(4)退火处理：将镀完膜的石英玻璃片放入管式炉中，先放入一定量的铜网，再将管式炉内抽真空，随后升温退火处理得到纯相的二氧化钒热致变色薄膜。

2.根据权利要求1所述的无机溶胶-凝胶法制备二氧化钒薄膜的方法，其特征在于步骤(1)所述称量的V₂O₅为5g，所述去离子水为200-300ml。

3.根据权利要求1所述的无机溶胶-凝胶法制备二氧化钒薄膜的方法，其特征在于步骤(2)所述基片为石英玻璃。

4.根据权利要求1所述的无机溶胶-凝胶法制备二氧化钒薄膜的方法，其特征在于步骤(2)所述稀盐酸溶液中浓盐酸与去离子水的比例为1∶9。

5.根据权利要求1所述的无机溶胶-凝胶法制备二氧化钒薄膜的方法，其特征在于步骤(3)所述提拉法镀膜的提拉速度为1500-2500μm/s，浸渍时间为100s，停留时间为100s，在80-100℃的烘箱中干燥10-20min。

6.根据权利要求1所述的无机溶胶-凝胶法制备二氧化钒薄膜的方法，其特征在于步骤(4)所述管式炉内抽真空的真空度为1.0×10³-3.0×10³Pa。

7.根据权利要求1所述的无机溶胶-凝胶法制备二氧化钒薄膜的方法，其特征在于步骤(4)所述升温退火处理的工艺为：以2-4℃/min的升温速率升温至470-560℃，保温1-4h后冷却至室温。