[发明专利]微电子机械系统装置及调整其可动部件的形状的方法

权利要求书

1.一种用于调整微电子机械系统装置的可动部件的形状的方法，包括：

通过致动附着至第一表面的多个固定的致动电极，向所述第一表面挠曲可动部件，其中，每个所述固定的致动电极独立可控以在各个所述固定的致动电极与所述可动部件之间生成吸引力；

选择性地退动所述多个固定的致动电极的第一子集，以终止所述多个固定的致动电极的第一子集与所述可动部件之间的吸引力；

退动所述多个固定的致动电极中剩余的致动电极，以使得所述可动部件远离所述第一表面而挠曲。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，致动所述多个固定的致动电极包括：致动小于附着到所述第一表面的固定的致动电极的总数的多个固定的致动电极。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，一固定的电容器板固定至所述第一表面；并且

其中，所述多个固定的致动电极的第一子集被定位成与所述固定的电容器板相邻。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，一固定的电容器板固定至所述第一表面；

其中，所述多个固定的致动电极的第一子集被定位在所述固定的电容器板的一侧；并且

其中，所述多个固定的致动电极中的剩余的致动电极被定位在所述固定的电容器板的相对的一侧。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，致动所述多个固定的致动电极包括从多个电压供应单元向所述多个固定的致动电极供应偏压。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，从多个电压供应单元向所述多个固定的致动电极供应偏压包括：控制多个高压驱动器，其中所述多个高压驱动器中的一个连接至所述多个固定的致动电极中的每一个。

7.一种微电子机械系统装置，包括：

多个固定的致动电极，其附着至第一表面，其中，所述多个固定的致动电极中的每个独立可控，

可动部件，与所述第一表面隔开，并且通过致动所述多个固定的致动电极而相对于所述第一表面可移动；

其中，所述多个固定的致动电极是可控的，以通过在所述多个固定的致动电极与所述可动部件之间生成吸引力而向着所述第一表面挠曲所述可动部件；并且

其中，所述多个固定的致动电极是选择性可控的，通过选择性退动所述多个固定的致动电极的第一子集来终止所述多个固定的致动电极的第一子集与所述可动部件之间的吸引力以及退动所述多个固定的致动电极中剩余的致动电极，使得所述可动部件远离所述第一表面而挠曲。

8.根据权利要求7所述的装置，其中，一固定的电容器板固定至所述第一表面；并且

其中，所述多个固定的致动电极的第一子集被定位成与所述固定的电容器板相邻。

9.根据权利要求7所述的装置，其中，一固定的电容器板固定至所述第一表面；

其中，所述多个固定的致动电极的第一子集被定位在所述固定的电容器板的一侧；并且

其中，所述多个固定的致动电极中的剩余的致动电极被定位在所述固定的电容器板的相对的一侧。

10.根据权利要求7所述的装置，还包括多个独立可控的电压驱动器，每个所述电压驱动器连接至所述多个固定的致动电极中的一个。

11.根据权利要求7所述的装置，其中，所述可动部件通过至少一个固定锚定部连接至所述第一表面。