[发明专利]增粘剂涂布装置

权利要求书

1.一种增粘剂涂布装置，包括一涂布腔体，其特征在于，所述涂布腔体包括：增粘剂输入端，所述增粘剂输入端包括：由腔体外引入腔体内部的输入总管，与所述输入总管连接的两个以上的输入支管；喷头，具有若干孔洞，分别与各输入支管的输出口一一对应；各个位置处的输入支管内的增粘剂流速能够被分别进行调整。

2.根据权利要求1所述的增粘剂涂布装置，其特征在于，各个输入支管管路上均设置有第一气流传感器和第一流速控制器。

3.根据权利要求1所述的增粘剂涂布装置，其特征在于，所述喷头内具有加热部件。

4.根据权利要求1所述的增粘剂涂布装置，其特征在于，所述涂布腔体还包括：加热盘，与所述增粘剂输入端相对设置，用于放置晶圆，并对晶圆加热。

5.根据权利要求4所述的增粘剂涂布装置，其特征在于，所述增粘剂输入端位于所述涂布腔体底部，所述加热盘位于所述涂布腔体上部；所述加热盘具有真空吸附部件，用于吸附晶圆。

6.根据权利要求5所述的增粘剂涂布装置，其特征在于，所述加热盘边缘结构向加热盘背面方向翘起；所述加热盘边缘下方具有夹杆，所述夹杆具有凹槽，用于夹持晶圆。

7.根据权利要求1所述的增粘剂涂布装置，其特征在于，所述涂布腔体还包括两个以上的排气端口，位于所述涂布腔体底部；总排气端口，与所述两个以上的排气端口连接，用于将各个排气端口排出的气体统一排出。

8.根据权利要求2所述的增粘剂涂布装置，其特征在于，还包括增粘剂容器，用于盛放增粘剂，所述增粘剂容器包括增粘剂供应端、载气供应端以及增粘剂输出端，所述增粘剂输出端通过管道连接至所述增粘剂输入端的输入总管。

9.根据权利要求8所述的增粘剂涂布装置，其特征在于，所述增粘剂输出端安装有第二传感器和第二流速控制器，所述第二流速控制器受所述第二传感器控制。

10.根据权利要求9所述的增粘剂涂布装置，其特征在于，所述载气供应端安装有第三传感器和第三流速控制器，所述第三流速控制器受所述第三传感器控制，所述第三传感器与第二传感器之间具有信号连接。

11.根据权利要求8所述的增粘剂涂布装置，其特征在于，所述增粘剂输出端与所述输入总管之间设置有雾化装置。

12.根据权利要求11所述的增粘剂涂布装置，其特征在于，所述雾化装置与输入总管之间设置有过滤器。

13.根据权利要求10所述的增粘剂涂布装置，其特征在于，还包括监控系统，与所述第一气流传感器、第二传感器、第三传感器连接，用于监控第一气流传感器、第二传感器、第三传感器的传感数据，调节所述第一气流传感器、第二传感器、第三传感器对所述第一流速控制器、第二流速控制器、第三流速控制器的控制策略。

14.根据权利要求1所述的增粘剂涂布装置，其特征在于，所述涂布腔体具有侧开门，作为晶圆进出通道。