[发明专利]用于多腔传输装置的开盖机构有效
申请号: | 201810245055.7 | 申请日: | 2018-03-23 |
公开(公告)号: | CN110299301B | 公开(公告)日: | 2021-11-16 |
发明(设计)人: | 李冰;常青;赵梦欣;边国栋 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;姜春咸 |
地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 传输 装置 机构 | ||
1.一种用于多腔传输装置的开盖机构,其特征在于,包括切换组件、驱动组件、多组传动组件和多组开盖执行组件,其中,
每组所述传动组件对应连接有一组所述开盖执行组件;
所述切换组件用于将所述驱动组件选择性地与其中一组所述传动组件相连;
所述驱动组件用于驱动所述传动组件以带动所述开盖执行组件摆动;
所述驱动组件包括第一转轴和套设在所述第一转轴上的主动齿轮;
每组所述传动组件均包括第一从动齿轮,所述第一从动齿轮能与所述主动齿轮啮合;
所述切换组件包括切换杆,所述切换杆与所述第一转轴连接,通过调节所述切换杆的位置能使所述主动齿轮选择性地与其中一个所述第一从动齿轮啮合。
2.根据权利要求1所述的开盖机构,其特征在于,
所述切换组件还包括承载件、支撑座和连接件,其中,所述承载件用于为所述切换杆提供支撑,所述支撑座固定在所述承载件上,所述切换杆与所述支撑座铰接且所述切换杆的端部通过所述连接件与所述第一转轴连接。
3.根据权利要求2所述的开盖机构,其特征在于,
沿所述主动齿轮的轴线方向,多个所述第一从动齿轮错开设置。
4.根据权利要求3所述的开盖机构,其特征在于,
所述切换杆在连接所述第一转轴的一端开设导向槽;
所述连接件包括与所述第一转轴连接的柱状本体和沿所述柱状本体外表面凸出的滑动销;
所述切换杆的自由端绕所述支撑座摆动时,所述滑动销能在所述导向槽中滑动且能带动所述第一转轴上升或下降。
5.根据权利要求4所述的开盖机构,其特征在于,
所述柱状本体包括可拆卸连接的第一本体部和第二本体部,所述第一本体部和所述第二本体部在朝向所述第一转轴的内表面上均开设限位槽,两个所述限位槽能形成限位腔;
所述第一转轴的外表面与所述限位槽对应的位置设置有限位凸起,所述限位凸起容纳在所述限位腔中;
所述柱状本体与所述第一转轴之间能相对转动。
6.根据权利要求5所述的开盖机构,其特征在于,所述切换杆包括相连接的第一切换杆和第二切换杆;
所述切换杆在所述第一切换杆和所述第二切换杆的连接处与所述支撑座铰接;
所述第一切换杆和所述第二切换杆二者的轴线之间呈预设角度。
7.根据权利要求1至6中任意一项所述的开盖机构,其特征在于,每组所述传动组件均还包括第二转轴、第三转轴、蜗杆、蜗轮、第二从动齿轮以及齿轮部,其中,
所述第二转轴上分别设有所述第一从动齿轮和所述蜗杆,所述第三转轴上分别设有所述蜗轮和所述第二从动齿轮;
所述蜗轮能与所述蜗杆啮合,所述第二从动齿轮能与所述齿轮部啮合;
所述开盖执行组件包括摆臂,所述齿轮部能带动所述摆臂摆动。
8.根据权利要求2至6中任意一项所述的开盖机构,其特征在于,
所述承载件为箱体,多组所述传动组件均位于所述箱体内,所述切换组件位于所述箱体外。
9.根据权利要求2所述的开盖机构,其特征在于,
多个所述第一从动齿轮的同侧端面位于同一平面上,所述切换杆平移时能带动所述第一转轴平移,以使所述主动齿轮选择性地与其中一个所述第一从动齿轮啮合。
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