[发明专利]区熔炉系统

说明书

本发明提供了一种区熔炉系统。上述区熔炉系统，包括电气控制设备，炉管，连续推舟设备，位于炉管内的石墨舟，感应器和区熔炉感应加热电源；感应器固定套接在炉管外部；石墨舟沿着炉管的轴向依次排布；感应器与区熔炉感应加热电源对应设置；石墨舟用于容置金属铸锭；电气控制设备用于：控制区熔炉感应加热电源，以调节区熔炉感应加热电源的输出参数；控制连续推舟设备推动炉管的进料口处的石墨舟以推动与石墨舟相邻的石墨舟向炉管的出料口处运动。采用以舟推舟的方式，推动各石墨舟依次通过多个感应器所在的加热区，完成多次区熔提纯，可以连续对进入炉管内的金属铸锭进行区熔提纯，也无需停机出料，生产效率高。

技术领域

本发明涉及区熔炉领域，特别是涉及一种区熔炉系统。

背景技术

在半导体行业或其他行业中，由于对金属等原料的纯度要求高，我们常常需要用到金属铸锭的区熔提纯产物，例如对于金属铸锭，我们常需要对其再次进行加热熔融获取高纯度金属。主要是利用将含有杂质的晶态物质熔化后再结晶时的分凝现象将物质局部熔化形成狭窄的熔区，并令其沿锭长从一端缓慢地移动到另一端，重复多次使杂质尽量集中在两头，从而使中部材料被提纯，得到高纯度产物。目前，各企业多采用移动小车上固定有感应线圈，将感应线圈套接在石英管外部，通过移动小车带动感应线圈对石英管内部的金属铸锭进行区熔提纯，但发明人在实现过程中发现，传统技术中的区熔炉需要控制移动小车左右往复进行多次运动才能实现达到对金属铸锭的提纯要求，且出料时需要停机冷却出料，生产效率低。

发明内容

基于此，有必要针对生产效率低的问题，提供一种区熔炉系统。

本发明实施例一方面提供一种区熔炉系统，包括电气控制设备，炉管，连续推舟设备，位于炉管内的石墨舟，感应器和区熔炉感应加热电源；

感应器固定套接在炉管外部；

石墨舟沿着炉管的轴向依次排布；

感应器与区熔炉感应加热电源对应设置；

石墨舟用于容置金属铸锭；

电气控制设备用于：

控制区熔炉感应加热电源，以调节区熔炉感应加热电源的输出参数；

控制连续推舟设备推动炉管的进料口处的石墨舟以推动与石墨舟相邻的石墨舟向炉管的出料口处运动。

在其中一个实施例中，区熔炉感应加热电源包括：降压单元、整流单元、高频逆变单元、谐振单元、控制单元；谐振单元与区熔炉加热区的感应器耦合连接，用于为区熔炉加热；

降压单元、整流单元和高频逆变单元依次串接在外接电源和谐振单元之间；

控制单元用于分别控制整流单元中的各开关器件的通断和高频逆变单元中的各开关器件的通断，以调节谐振单元的输出参数。

在其中一个实施例中，区熔炉感应加热电源还包括辅助电源，辅助电源用于将外接电源的输出电压转换为控制单元的工作电压并为控制单元供电。

在其中一个实施例中，控制单元包括给定电路、控制驱动电路；

控制驱动电路用于输出脉冲信号至整流单元和高频逆变单元，脉冲信号用于控制整流单元中的各开关器件的通断和高频逆变单元中的各开关器件的通断；

给定电路连接控制驱动电路，且用于调节控制驱动电路输出的脉冲信号。

在其中一个实施例中，区熔炉感应加热电源还包括滤波单元，滤波单元的输入端接整流单元的输出端，滤波单元的输出端接高频逆变单元的输入端。

在其中一个实施例中，区熔炉系统还包括保护气体供给设备，冷却设备；

冷却设备与各感应器相应设置，且用于为感应器降温；

电气控制设备用于：