[发明专利]垂直面腔表面发射激光器及其制备方法在审
| 申请号： | 201810251636.1 | 申请日： | 2018-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN108777433A | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 朱明星;周少将;王伟明;李华 | 申请（专利权）人： | 江苏宜兴德融科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/187 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张成新 |
| 地址： | 214213 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 反射镜层 表面发射激光器 垂直面 制备 布拉格反射镜层 金属反射镜层 层叠设置 源层 源区 | ||
1.一种垂直面腔表面发射激光器，包括：
按顺序层叠设置的第一反射镜层、有源层和第二反射镜层，所述第二反射镜层位于出光侧，所述第一反射镜层位于非出光侧，其特征在于：
所述第一反射镜层包括位于非出光侧的金属反射镜层和介于金属反射镜层与有源层之间第一布拉格反射镜层；以及
所述第二反射镜层包括第二布拉格反射镜层。
2.根据权利要求1所述的垂直面腔表面发射激光器，其中，所述第一布拉格反射镜层包括1-15个周期的交替排列的高折射率材料层和低折射率材料层，优选包括1-5个周期的交替排列的高折射率材料层和低折射率材料层。
3.根据权利要求1所述的垂直面腔表面发射激光器，其中，第二布拉格反射镜层包括5-30个周期的交替排列的高折射率材料层和低折射率材料层。
4.根据权利要求1所述的垂直面腔表面发射激光器，还包括设置在金属反射镜层的非出光侧的第一电极层和设置在第二布拉格反射镜层的出光侧的第二电极层。
5.根据权利要求4所述的垂直面腔表面发射激光器，还包括设置在有源层和第二布拉格反射镜层之间的氧化隔离层。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的垂直面腔表面发射激光器，其中，
所述金属反射镜层包括Cu反射镜层、Ag反射镜层或Au反射镜层。
7.一种垂直面腔表面发射激光器的制备方法，包括：
提供衬底；
在衬底上依次外延生长牺牲层、第一布拉格反射镜层、有源层、第二布拉格反射镜层；
腐蚀牺牲层，将衬底从第一布拉格反射镜层剥离；
在第一布拉格反射镜层的背离有源层的一侧沉积金属反射镜层。
8.根据权利要求7所述的方法，还包括：在金属反射镜层的背离第一布拉格反射镜层的一侧制作第一电极层；以及
在第二布拉格反射镜层的背离有源层的一侧制作第二电极层。
9.根据权利要求8所述的方法，还包括：在有源层和第二布拉格反射镜层之间形成氧化隔离层。
10.根据权利要求7所述的方法，其中，所述第一布拉格反射镜层包括1-15个周期的交替排列的高折射率材料层和低折射率材料层，优选包括1-5个周期的交替排列的高折射率材料层和低折射率材料层。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏宜兴德融科技有限公司，未经江苏宜兴德融科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201810251636.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
