[发明专利]一种利用EBSD测量钢中位错密度的方法

权利要求书

1.一种利用EBSD快速测量钢中位错密度的方法，其特征在于：

(1)试样制备：制备标准试样和若干个待测试样；

(2)试样EBSD扫描：将上述试样依次放入带有EBSD的扫描电镜中扫描，并记录扫描数据；

(3)数据处理：处理所述扫描数据，确定标准试样的小角度界面的界面密度ρ_标和待测试样的小角度界面的界面密度ρ，测定标准试样的位错密度d_标，根据公式d_标＝k·ρ_标计算常数k；

(4)确定待测试样的位错密度：根据公式d＝k·ρ计算待测试样的位错密度；

所述步骤(3)中利用CHANNEL5软件对扫描数据进行降噪处理，去除误标数据，标注扫描区域中的小角度界面和大角度界面，其中小角度界面的取向差为2～15°，大角度界面的取向差大于或等于15°，统计扫描区域中不同取向差的界面比例，并将其归一化，将归一化后的界面比例用界面密度表示，其中小角度界面的界面密度表示为ρ＝L_GB/A，式中L_GB表示小角度界面的界面总长度，A表示扫描区域范围；

所述小角度界面的界面总长度L_GB通过公式获得，式中n为扫描区域内构成小角度界面曲线的扫描点数，s为扫描步长范围。

2.如权利要求1所述的利用EBSD快速测量钢中位错密度的方法，其特征在于：在步骤(1)中制备若干方片状试样，并打磨抛光以保证试样表面平整应力小。

3.如权利要求2所述的利用EBSD快速测量钢中位错密度的方法，其特征在于：在步骤(1)中用线切割切取若干方片状试样，经4道砂纸打磨并机械抛光，再经过电解抛光，电解电压约20V，抛光时间10～15s。

4.如权利要求1所述的利用EBSD快速测量钢中位错密度的方法，其特征在于：通过XDR或TEM法测定标准试样的位错密度。

5.如权利要求1所述的利用EBSD快速测量钢中位错密度的方法，其特征在于：对试样进行EBSD电镜扫描前，设定并记录扫描区域范围A为80μm×80μm～300μm×300μm，扫描步长范围s为0.1μm～0.5μm，标定率不低于80％。

6.如权利要求5所述的利用EBSD快速测量钢中位错密度的方法，其特征在于：在步骤(2)中，所述扫描数据还包括取向差和扫描点数。

7.如权利要求6所述的利用EBSD快速测量钢中位错密度的方法，其特征在于：所述小角度界面曲线的扫描点数用n表示，其中n＝m·p，式中m表示扫描区域中界面的总扫描点数，p表示不用取向差的界面比例归一化后小角度界面所占比例。

8.如权利要求1-7任一项所述利用EBSD快速测量钢中位错密度的方法，其特征在于：所述试样的长、宽、厚范围分别为5～20mm、5～20mm、2～5mm。