[发明专利]X射线分析装置

权利要求书

1.一种X射线分析装置，其特征在于,具备：

试样保持部，保持试样；

X射线源，朝向保持于所述试样保持部的试样照射X射线；

检测器，接收在试样表面衍射并聚光于聚光位置的X射线；

移动机构，使所述X射线源以及所述聚光位置的相对位置在以试样表面上的基准点为中心的同一基准圆即衍射仪圆上变化；

保持状态变更机构，与因所述移动机构产生的所述X射线光源与所述聚光位置的相对位置的变化连动，以试样表面沿着通过所述X射线源以及所述聚光位置的、以下述式(1)所示的半径R的焦点圆的圆周而配置成圆弧状的方式，对所述试样保持部所保持的试样的保持状态进行变更，

所述试样保持部将试样分开保持于多个保持区域，所述保持状态变更机构变更所述多个保持区域的相对位置，

R＝r/2sinθ (1)

其中，r为所述衍射仪圆的半径，θ为所述试样保持部的旋转角度。

2.如权利要求1所述的X射线分析装置，其特征在于，所述多个保持区域相互地连结，

所述试样保持部具备多个试样架和多个连结部件，各所述连结部件将相邻的所述试样架以能够相对移动的状态连结，

所述保持状态变更机构具备保持部件，各所述试样架被放置于所述保持部件，

所述保持状态变更机构通过使所述保持部件挠曲，从而将所述多个保持区域的相对位置一体地变更。