[发明专利]低颗粒气体封闭系统和方法

权利要求书

1.一种气体封闭系统，所述气体封闭系统包括：

限定内部的气体封闭件；

印刷头组件，所述印刷头组件被定位在所述气体封闭件的内部中；

基板支撑设备，所述基板支撑设备被定位在所述气体封闭件的内部内，所述基板支撑设备用于支撑要被印刷的基板；

限定开口的管道系统，所述管道系统被构造成将服务束布设到所述气体封闭件的内部中；以及

密封覆盖件机构，所述密封覆盖件机构具有打开位置和关闭位置，以分别打开和关闭所述开口，所述密封覆盖件机构被构造成在所述关闭位置中密封所述开口。

2.根据权利要求1所述的气体封闭系统，其中，所述密封覆盖件机构由顺应性材料制成，以在所述密封覆盖件机构的所述关闭位置中在被布设通过所述开口的服务束周围密封。

3.根据权利要求1所述的气体封闭系统，还包括：

运动系统，用以使所述印刷头组件和基板相对于彼此运动。

4.根据权利要求1所述的气体封闭系统，所述气体封闭系统还包括：

服务束壳体，所述服务束壳体位于所述气体封闭件的内部中，所述服务束被布设通过所述服务束壳体；以及

空气移动装置，所述空气移动装置被定位成使气体移动通过服务束壳体。

5.根据权利要求4所述的气体封闭系统，其中所述服务束壳体包括在至少一个表面上的多个开口，所述开口被布置成促进在所述服务束壳体的内部与所述服务束壳体的外部之间的气流的均匀分布。

6.根据权利要求3所述的气体封闭系统，还包括载体，其中，所述服务束被载体保持并且能够响应于所述印刷头组件的定位而移动。

7.根据权利要求1所述的气体封闭系统，还包括：

气体循环系统，所述气体循环系统可操作地联接到所述气体封闭件，所述气体循环系统包括：

气体移动装置，所述气体移动装置被设置成使气体沿路径从所述印刷头组件上方向下朝向所述基板支撑设备流动；以及

附加管道系统，所述附加管道系统与所述气体移动装置流体连通，所述附加管道系统被定位成沿所述气体封闭件的周界导引所述气体离开所述基板支撑设备附近并回到所述气体移动装置。

8.根据权利要求7所述的气体封闭系统，所述气体封闭系统还包括：在所述气体移动装置下游的颗粒过滤器装置。

9.根据权利要求1所述的气体封闭系统，所述气体封闭系统还包括：流体地联接到所述气体封闭件的气体净化系统。

10.根据权利要求1所述的气体封闭系统，还包括：

梁，所述梁延伸跨越所述基板支撑设备；以及

滑架组件，所述滑架组件可移动地被安装到所述梁，所述滑架组件能够沿所述梁在X轴方向上移动，

其中，所述印刷头组件联接到所述滑架组件。

11.根据权利要求1所述的气体封闭系统，还包括：

颗粒计数装置，所述颗粒计数装置被设置在所述气体封闭件的内部内，并且被构造成监测所述气体中的气载颗粒物质的量。

12.根据权利要求11所述的气体封闭系统，其中，所述颗粒计数装置被定位在如下中的至少一者附近：在气体封闭件的内部中容纳服务束的服务束壳体、保持印刷头组件的印刷头组件滑架、以及所述基板支撑设备。

13.根据权利要求1所述的气体封闭系统，还包括：

基板上颗粒物质检测系统，所述基板上颗粒物质检测系统被定位成检测由所述基板支撑设备支撑的基板的表面上的颗粒物质的量。

14.根据权利要求13所述的气体封闭系统，其中，所述基板上颗粒物质检测系统包括：成像系统。