[发明专利]一种调整滤波器频率的方法和装置以及滤波器芯片

权利要求书

1.一种调整滤波器频率的方法，其特征在于：利用每个滤波器单元体表面的介电材料对于不同波长的吸收系数，选择对应波长的激光、激光输出功率、激光光斑直径和激光照射时间，使得激光蒸发一定重量的介电材料，单独调整滤波器上每一个滤波器单元体的介电材料的厚度，从而单独调整每个滤波器单元体的频率。

2.根据权利要求1所述的一种调整滤波器频率的方法，其特征在于：所述激光蒸发介电材料的同时，通过矢量分析仪实时计算该滤波器单元体的频率，当该滤波器单元体的频率达到目标值时，停止对该滤波器单元体的进行激光照射。

3.一种调整滤波器频率的装置，其特征在于包括：激光发射器、测试平台、XY平面位移调整机构；所述测试平台上放置有滤波器芯片，所述滤波器芯片上排列设置有多个滤波器单元体；

激光发射器的输出端朝向所述滤波器芯片，通过所述XY平面位移调整机构调整激光发射器与滤波器芯片的相对位置，使得激光发射器的输出端对准其中一颗滤波器单元体，根据该单元体表面介电层的材料，设置激光发射器发出的激光波长、输出功率、光斑直径和照射时间；使得激光发射器发出的激光照射在该滤波器单元体的介电层，并蒸发一定重量的介电材料。

4.根据权利要求3所述的一种调整滤波器频率的装置，其特征在于：所述XY平面位移调整机构设置于所述测试平台，用于调整所述滤波器芯片在XY平面上的位置。

5.根据权利要求3或4所述的一种调整滤波器频率的装置，其特征在于：还包括一频率检测装置，所述频率检测装置的测试端连接至被激光照射的那一颗滤波器单元体，并测量该滤波器单元体的实时频率；当该滤波器单元体的实时频率达到目标值时，所述激光发射器停止输出激光。

6.根据权利要求5所述的一种调整滤波器频率的装置，其特征在于：所述频率检测装置包括探针座和矢量分析仪；探针座连接至矢量分析仪的测试端、探针座的探针连接至被激光照射的那一颗滤波器单元体。

7.根据权利要求5或6所述的一种调整滤波器频率的装置，其特征在于：还包括矢量分析迅号运算处理器，所述矢量分析仪将该滤波器单元体的实时频率发送至所述矢量分析迅号运算处理器并与目标值进行比对；若达到目标值时，所述矢量分析迅号运算处理器输出控制信号至激光发射器，控制激光发射器停止输出激光。

8.一种滤波器芯片，其特征在于采用权利要求1或2所述方法制备而成。

9.一种滤波器芯片，其特征在于采用权利要求3或7中任一项所述装置制备而成。

10.一种滤波器芯片，其特征在于：包括压电材料基板和排列设置于基板上的多个滤波器单元体；所述滤波器单元体的表面具有一层介电层；所述多个滤波器单元体的介电层厚度各不相同。