[发明专利]一种氮化铝陶瓷基板的制备方法及封装材料

权利要求书

1.一种氮化铝陶瓷基板的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤一：将氮化硼粉体和改性剂分散在第一溶剂中，得到氮化硼混合溶液，再将混合溶液倒入砂磨机中，高速处理后，干燥破碎研磨后得到改性氮化硼；

步骤二：将氮化铝超细粉、改性氮化硼、烧结助剂、粘接剂以及第二溶剂通过高分子混料设备混合均匀后得到烧结浆料；

步骤三：将步骤二的烧结浆料经过真空脱泡机脱泡处理后，通过流延机，得到一定厚度的流延带；

步骤四：将步骤三的流延带经冲切、层压、排胶和烧结后得到致密的氮化铝陶瓷基板。

2.根据权利要求1所述的一种氮化铝陶瓷基板的制备方法，其特征在于，步骤一中所述改性剂为氨硼烷。

3.根据权利要求2所述的一种氮化铝陶瓷基板的制备方法，其特征在于，步骤一中所述氨硼烷与氮化硼的比例为（1~5）：1。

4.根据权利要求1所述的一种氮化铝陶瓷基板的制备方法，其特征在于，步骤一中所述砂磨机处理的时间为30~60min。

5.根据权利要求1所述的一种氮化铝陶瓷基板的制备方法，其特征在于，步骤一中所述第一溶剂为乙醇、丙醇、丁醇、乙酸乙酯中的一种或两种以上的混合物。

6.根据权利要求1所述的一种氮化铝陶瓷基板的制备方法，其特征在于，步骤一中所述砂磨机高速处理转速为700~1200rpm。

7.根据权利要求1所述的一种氮化铝陶瓷基板的制备方法，其特征在于，步骤二中所述氮化铝超细粉的尺寸低于3μm。

8.根据权利要求1所述的一种氮化铝陶瓷基板的制备方法，其特征在于，步骤二中所述烧结助剂为多元烧结助剂，为Y₂O₃-CaO、Y₂O₃-CaF₂、YF₃-CaF₂、Y₂O₃-CaO-Li₂O和 Y₂O₃-CaO-Li₂O₃中的一种或两种以上的混合物。

9.根据权利要求1所述的一种氮化铝陶瓷基板的制备方法，其特征在于，步骤二中所述粘接剂为聚乙醇缩丁醛、聚乙二醇或聚氨酯。

10.一种封装材料，采用如权利要求1~9任一项所述氮化铝陶瓷基板制得，其特征在于，将所述氮化铝陶瓷基板用等离子体处理其表面，然后将铜箔贴于所述氮化铝陶瓷基板上，经过1000~1100℃处理后得到所需封装材料。