[发明专利]光学模块及光学模块的驱动方法有效
申请号: | 201810261967.3 | 申请日: | 2018-03-27 |
公开(公告)号: | CN108663796B | 公开(公告)日: | 2021-11-23 |
发明(设计)人: | 久利龙平 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G02B26/00 | 分类号: | G02B26/00;G02B5/28 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 张永明;玉昌峰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光学 模块 驱动 方法 | ||
1.一种光学模块,其特征在于,具备:
波长可变干涉滤波器,具备一对反射膜和变更所述一对反射膜之间的间隙尺寸的静电致动器;
驱动控制部,对所述静电致动器施加周期驱动电压以使所述波长可变干涉滤波器进行共振驱动;
间隙检测部,检测所述一对反射膜之间的间隙尺寸;
受光部,接收来自所述波长可变干涉滤波器的光;以及
信号获取部,检测来自所述受光部的受光信号,
所述驱动控制部对所述静电致动器施加周期驱动电压,
所述信号获取部从由所述间隙检测部检测出的所述间隙尺寸的最大值或最小值的检测定时开始,以预定的定时对来自所述受光部的受光信号进行检测。
2.根据权利要求1所述的光学模块,其特征在于,
所述周期驱动电压的电压值在5V以下。
3.根据权利要求1或2所述的光学模块,其特征在于,
所述驱动控制部基于使所述周期驱动电压的周期相对于所述波长可变干涉滤波器的可动部的固有周期在80%到120%的范围内变化时的所述受光信号,设定所述周期。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的光学模块,其特征在于,
所述驱动控制部使所述周期驱动电压的周期相对于所述波长可变干涉滤波器的可动部的固有周期在80%到120%的范围内变化,当第一值以上的所述最大值或第二值以下的所述最小值被所述间隙检测部检测出预定次数时,所述驱动控制部对所述周期进行锁定。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的光学模块,其特征在于,
所述信号获取部获取由所述间隙检测部检测出的、与所述受光信号对应的所述间隙尺寸。
6.根据权利要求5所述的光学模块,其特征在于,
在连续获取所述受光信号后,所述信号获取部连续获取所述间隙尺寸。
7.根据权利要求1或2所述的光学模块,其特征在于,
所述周期驱动电压的周期相对于所述波长可变干涉滤波器的可动部的固有周期在80%到120%的范围内。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的光学模块,其特征在于,
所述周期驱动电压的电压波形是矩形波。
9.一种光学模块的驱动方法,其特征在于,
对静电致动器施加周期驱动电压以使波长可变干涉滤波器进行共振驱动,
从所述波长可变干涉滤波器的一对反射膜之间的间隙尺寸为最大值或最小值的定时开始,以预定的定时对来自受光部的受光信号进行检测。
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