[发明专利]一种半导体电阻率测试仪以及多功能测试装置

说明书

本发明提供一种半导体电阻率测试仪以及多功能测试装置，包括：仪器本体，仪器本体设有半导体电阻率测试单元；半导体电阻率测试单元包括：信号发生器，第一低通滤波电路，第二低通滤波电路，第三低通滤波电路，恒流源电路，第一乘法电路，第二乘法电路，第一探头，第二探头，AD转换模块，单片机；半导体电阻率测试仪为提高精度测试仪恒流源电路对测试信号进行了运放，而且将测试信号和信号发生器发送至乘法电路的信号进行补偿算法，对测试信号进行调制，降噪，滤波等形式，进行处理，修正。半导体电阻率测试仪对采集的半导体电阻率采集信号进行平衡调节，可以使乘法器实现抑制载波的振幅调制或有载波的振幅调制，提升测试结果的精度。

技术领域

本发明涉及半导体电阻率测试领域，尤其涉及一种半导体电阻率测试仪以及多功能测试装置。

背景技术

当前半导体和集成电路制造技术飞速发展，许多新半导体以及集成电路研制出来，而半导体以及集成电路的很多参数都与薄层电阻有关，对半导体材料的电阻率检测是不可或缺的关键步骤，因而需要可靠的测量仪器来研究器件的性能。

目前，对于半导体材料电阻率的测试通常采用直流电位差计、光电检流计、标准电阻等仪器构成来完成测试，这种的测试方法是通过调节电位差计上的各档旋扭开关，使得光电检流计的指针复位到零点,从而读出电位差计上的电阻值,这样的测试工作周期长、读数误差较大,从而直接影响所生产的相关产品的性能，而且测试过程中存在较大的数据噪音，引起测试结果精度较低。

通常电子器件在生产制造过程中，均是流水作业，或者大量生产的。在对半导体材料进行检测时通常也需要一定的空间和环境。目前，专利号申请号为：201710084825X，公开了一种便携式半导体非接触电阻率测试仪及使用方法，该测试仪虽然方便携带，但是在每次使用中需要找到一个良好的固定位置，不仅要固定仪器，还要固定待测试的半导体材料，或半导体材料的延伸产品，才能进行检测，这给测试带来不便，而且这样无法满足流水作业，或者大量生产的状态。

发明内容

为了克服上述现有技术中的不足，本发明提供一种半导体电阻率测试仪，包括：仪器本体，仪器本体设有半导体电阻率测试单元；

半导体电阻率测试单元包括：信号发生器，第一低通滤波电路，第二低通滤波电路，第三低通滤波电路，恒流源电路，第一乘法电路，第二乘法电路，第一探头，第二探头，AD转换模块，单片机，I/O接口，用于给半导体电阻率测试仪内部元件供电的供电电池以及用于将供电电池输出的电压，进行稳压和变压后传输至各个用电元件的充供电电路；

仪器本体上设有显示模块，电源接入端，探针接入端，参数调节按键，电源开关按键以及测试控制按键；第一探头，第二探头分别与探针接入端插接；

电源接入端连接外电源，电源接入端通过充供电电路连接半导体电阻率测试单元，使外电源给半导体电阻率测试单元供电，还通过充供电电路给供电电池充电；参数调节按键，电源开关按键以及测试控制按键分别通过I/O接口与单片机连接；

单片机分别与信号发生器输入端，显示模块输入端以及AD转换模块输出端连接；

信号发生器的输出端分别与第一低通滤波电路输入端，第二低通滤波电路输入端和第三低通滤波电路输入端连接；

第一低通滤波电路输出端与第一乘法电路第一输入端连接；

第二低通滤波电路输出端与恒流源电路输入端连接；恒流源电路输出端分别与第一探头和第二探头连接，第一探头还与第一乘法电路第二输入端连接，第一探头将检测数据传输至第一乘法电路；

第二探头还与第二乘法电路第二输入端连接，第二探头将检测数据传输至第二乘法电路；

第三低通滤波电路输出端与第二乘法电路第一输入端连接；