[发明专利]一种电子束设备的自动聚焦装置及方法在审
| 申请号： | 201810267406.4 | 申请日： | 2018-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN108526675A | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 王刚 | 申请（专利权）人： | 河北众航高能科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K15/00 | 分类号： | B23K15/00 |
| 代理公司： | 北京知呱呱知识产权代理有限公司 11577 | 代理人： | 吕学文;武媛 |
| 地址： | 065300 河北省廊坊*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电子束 自动聚焦装置 电子束设备 发射单元 获取单元 能量曲线 小孔 测量 能量测试仪 同一中心线 能量测试 散射 聚焦 折射 发射 | ||
1.一种电子束设备的自动聚焦装置，其特征在于，所述装置包括：
发射单元，所述发射单元用于在第一高度，向能量测试仪的小孔发射第一电子束，所述能量测试仪生成第一能量曲线；其中，所述第一电子束的方向和所述小孔的中心处于同一中心线上；
获取单元，所述获取单元用于根据所述第一能量曲线，获取所述第一能量的峰量值对应的电流值，作为第一最佳聚焦值。
2.根据权利要求1所述的电子束设备的自动聚焦装置，其特征在于，所述发射单元还用于，在第一高度，向所述小孔发射第N电子束，所述能量测试仪生成第N能量曲线；其中，所述第N电子束的方向和所述小孔的中心处于同一中心线上；N为任一整数；
所述获取单元还用于，根据所述第N能量曲线，获取所述第N能量曲线的峰值对应的电流值，作为第N最佳聚焦值；
修正单元，所述修正单元用于根据所述第N最佳聚焦值对所述第一最佳聚焦值进行修正，获得最终的最佳聚焦值。
3.根据权利要求1所述的电子束设备的自动聚焦装置，其特征在于，所述修正单元具体用于：
分别为所述第一最佳聚焦值和所述第N最佳聚焦值设置权重，根据各自得权重计算加权平均值，得到最终的最佳聚焦值。
4.根据权利要求1所述的电子束设备的自动聚焦装置，其特征在于，所述修正单元具体用于：
对所述第一最佳聚焦值和所述第N最佳聚焦值设置权重取平均值，得到最终的最佳聚焦值。
5.一种电子束设备的自动聚焦方法，其特征在于，所述电子束设备的自动聚焦方法包括：
在第一高度，向能量测试仪的小孔发射第一电子束，所述能量测试仪生成第一能量曲线；其中，所述第一电子束的方向和所述小孔的中心处于同一中心线上；
根据所述第一能量曲线，获取所述第一能量的峰量值对应的电流值，作为第一最佳聚焦值。
6.根据权利要求5所述的聚焦方法，其特征在于，所述方法之后还包括：
在第一高度，向所述小孔发射第N电子束，所述能量测试仪生成第N能量曲线；其中，所述第N电子束的方向和所述小孔的中心处于同一中心线上；N为任一整数；
根据所述第N能量曲线，获取所述第N能量曲线的峰值对应的电流值，作为第N最佳聚焦值；
根据所述第N最佳聚焦值对所述第一最佳聚焦值进行修正，获得最终的最佳聚焦值。
7.根据权利要求5所述的聚焦方法，其特征在于，所述根据所述第N最佳聚焦值对所述第一最佳聚焦值进行修正，获得最终的最佳聚焦值，具体包括：
分别为所述第一最佳聚焦值和所述第N最佳聚焦值设置权重，根据各自得权重计算加权平均值，得到最终的最佳聚焦值。
8.根据权利要求5所述的聚焦方法，其特征在于，所述根据所述第N最佳聚焦值对所述第一最佳聚焦值进行修正，获得最佳聚焦值，具体包括：
对所述第一最佳聚焦值和所述第N最佳聚焦值设置权重取平均值，得到最终的最佳聚焦值。
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