[发明专利]一种硅基膜片式光纤激光水听器在审
| 申请号： | 201810268252.0 | 申请日： | 2018-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN108627236A | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 李振;姜文征;张海岩;王学锋;赵俊鹏;赵晨 | 申请（专利权）人： | 北京航天控制仪器研究所 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 张欢 |
| 地址： | 100854 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光纤激光水听器 硅膜片 硅基膜 片式 水听器阵列 光栅 声波 封装方式 高灵敏度 光纤光栅 敏感单元 拾取单元 陶瓷管壳 小型移动 谐振频率 源光纤 超细 光纤 应用 保证 | ||
1.一种硅基膜片式光纤激光水听器，其特征在于，包括：硅膜片(1)、光纤(2)、陶瓷管壳(3)；光纤(2)包含有源光纤光栅；硅膜片(1)的下表面中部设置有敏感区(102)，硅膜片(1)除敏感区(102)外的其余部分沿硅膜片(1)纵向对称轴设有第一过纤槽(101)；光纤(2)沿硅膜片(1)纵向安装在硅膜片(1)的第一过纤槽(101)中，有源光纤光栅置于硅膜片(1)的敏感区(102)；安装有光纤(2)的硅膜片(1)安装在陶瓷管壳(3)内，光纤(2)从陶瓷管壳(3)两侧伸出，在陶瓷管壳(3)上对应敏感区(102)位置处开有透声窗(302)。
2.根据权利要求1所述的一种硅基膜片式光纤激光水听器，其特征在于，所述陶瓷管壳(3)上设置有安装槽(303)、第二过纤槽(301)，第二过纤槽(301)沿陶瓷管壳(3)纵向，安装槽(303)关于第二过纤槽(301)对称，安装槽(303)中部开有透声窗(302)，安装有光纤(2)的硅膜片(1)安装在安装槽(303)中，光纤(2)沿第二过纤槽(301)放置，透声窗(302)位于安装槽(303)中部。
3.根据权利要求1或2所述的一种硅基膜片式光纤激光水听器，其特征在于，所述硅膜片(1)采用刻蚀工艺制作，膜片敏感区(102)厚度为300um，除敏感区(102)外的其余部位厚度为500um，硅膜片(1)长度为40mm，第一过纤槽(101)的深度为200um，敏感区(102)长度为15mm，硅膜片(1)宽度为2mm。
4.根据权利要求1或2所述的一种硅基膜片式光纤激光水听器，其特征在于，所述光纤(2)在安装时，加载设定的拉力f，通过紫外胶粘在第一过纤槽(101)中。
5.根据权利要求4所述的一种硅基膜片式光纤激光水听器，其特征在于，所述硅膜片(1)通过环氧胶固定在陶瓷管壳(3)内。
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