[发明专利]智能氮氧传感器感应芯片

权利要求书

1.一种智能氮氧传感器感应芯片，其特征是，包括外电极（1）、电极触点一（2）、上层氧化锆基板（3）、副泵内电极（4）、主泵内电极（5）、中层氧化锆基板（6）、参比空气电极（7）、测量泵内电极（8）、电极触点二（9）、底层氧化锆基板（10）、绝缘包裹层（11）、电极触点三（12）、参比空气通道（13）、第一测量腔（15）、第二测量腔（17）和加热线路（18），所述外电极（1）、引线、电极触点一（2）印刷在上层氧化锆基板（3）的上端面；所述副泵内电极（4）、主泵内电极（5）、引线印刷在上层氧化锆基板（3）的下端面；所述副泵内电极（4）、主泵内电极（5）、引线通过过孔与电极触点一（2）连接；所述测量泵内电极（8）和参比空气电极（7）印刷在底层氧化锆基板（10）的上端面；所述测量泵内电极（8）和参比空气电极（7）通过引线延伸至端头与两侧的电极触点二（9）连接；所述底层氧化锆基板（10）上印刷有加热线路（18）、电极触点三（12）、两层绝缘包裹层（11）；所述加热线路（18）包裹在两层绝缘包裹层（11）之间；所述电极触点三（12）裸露在外；所述中层氧化锆基板（6）通过冲切加工成第一测量腔（15）、第二测量腔（17）和参比空气通道（13）。

2.根据权利要求1所述的智能氮氧传感器感应芯片，其特征是，所述电极触点一（2）数量为三个。

3.根据权利要求1所述的智能氮氧传感器感应芯片，其特征是，所述电极触点二（9）数量为两个。

4.根据权利要求1所述的智能氮氧传感器感应芯片，其特征是，所述电极触点三（12）数量为三个。

5.根据权利要求1所述的智能氮氧传感器感应芯片，其特征是，所述上层氧化锆基板（3）、中层氧化锆基板（6）、底层氧化锆基板（10）、绝缘包裹层（11）之间通过叠层和共烧工艺集成为一体。

6.根据权利要求1所述的智能氮氧传感器感应芯片，其特征是，所述中层氧化锆基板（6）上端面设有第一扩散障碍通道（14）和第二扩散障碍通道（16）。

7.根据权利要求1所述的智能氮氧传感器感应芯片，其特征是，所述电极触点一（2）水平均匀分布在上层氧化锆基板（3）的端面上，电极触点三（12）水平均匀分布在底层氧化锆基板（10）的端面上，电极触点二（9）位于该芯片的左右两侧。