[发明专利]一种铜箔上的连续快速制备石墨烯薄膜的装置与方法在审

专利信息
申请号: 201810271662.0 申请日: 2018-03-29
公开(公告)号: CN108516537A 公开(公告)日: 2018-09-11
发明(设计)人: 任旭东;钱磊;马服辉;马文迅;王日红;王冕 申请(专利权)人: 江苏大学
主分类号: C01B32/184 分类号: C01B32/184;C01B32/194
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 212013 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 石墨烯薄膜 快速制备 铜箔 等离子体 靶材表面 高温高压等离子体 激光发生系统 等离子体羽 高功率脉冲 石墨悬浮液 反应区域 激光辐射 收集系统 约束作用 气态碳 热传导 衬底 沉积 制备 膨胀 扩散 发射 自由
【权利要求书】:

1.一种铜箔上的连续快速制备石墨烯薄膜的装置,其特征在于,包括激光发生系统和位于激光发生系统下方的反应容器(15),所述反应容器(15)左端设有丝杠螺母装置(6),所述丝杠螺母装置(6)的输出端安装有亚克力板(7),所述亚克力板(7)上安装有铜箔(12),所述亚克力板(7)及铜箔(12)均位于所述反映容器(15)内,所述丝杠螺母装置(6)在电机(20)的带动下可以实现将所述所述亚克力板(7)在所述反映容器(15)内竖直方向移动;所述反应容器(15)中放有石墨(13)悬浮液和磁力搅拌仪(14),所述反应容器(15)中装有去离子水;所述反应容器(15)上方固定安装有激光加工头(11),所述激光发生系统发出的激光通过全反镜(5)反射给所述激光加工头(11)。

2.根据权利要求1所述的一种铜箔上的连续快速制备石墨烯薄膜的装置,其特征在于,还包括流量调节器(21)、储液箱(22)和电泵(19),所述流量调节器(21)一端与储液箱(22)相连,另一端通过电泵(19)与反应容器(15)的进水管(17)相连,所述反应容器(15)的出水管(18)与储液箱(22)相连。

3.根据权利要求3所述的一种铜箔上的连续快速制备石墨烯薄膜的装置,其特征在于,所述激光发生系统包括高功率脉冲激光发生装置(1)和准直扩束镜(2),所述准直扩束镜(2)由聚焦透镜(3)和凹透镜(4)组成。

4.根据权利要求4所述的一种铜箔上的连续快速制备石墨烯薄膜的装置,其特征在于,所述电机(20)与数字控制器(24)连接,所述数字控制器(24)、所述高功率脉冲激光发生装置(1)、所述流量调节器(21)均与计算机(25)连接。

5.一种铜箔上的连续快速制备石墨烯薄膜的方法,包括以下步骤:

S1:准备好适量的去离子水;

S2:通过反应容器(15)底部的磁力搅拌器(14)使反应容器(15)内均匀分布石墨悬浮液;通过电机(20)带动丝杠螺母装置(6)使安装有铜箔的亚克力板(7)在反应容器(15)内进行竖直方向上的移动,直至移动到合适的反应位置;

S3:打开高功率脉冲激光发生装置(1),通过计算机(25)设置激光参数,高功率激光发生装置(1)发出激光通过激光加工头(11)将激光聚焦到反应容器(15)的水平表面上,调节三维移动平台(16)使得激光焦点位于水平面上,从而激光束(26)垂直入射石墨(13)悬浮液的石墨(13)表面上;

S4:向反应容器(15)内注入去离子水;

打开电泵(19),调节流量调节器(21),使去离子水注入反应容器(15)中;

S5:数字控制器(24)控制所述三维移动平台(16)沿竖直方向进给运动,冲击一段距离后,所述三维移动平台(16)沿Y轴方向移动一个光斑距离,继续进行冲击,同时,电机(20)旋转带动亚克力板(7)竖直移动一段距离,待反应容器(15)X轴方向进给完后,重复上述步骤;关闭所有装置,将铜箔(12)取下,进行后续石墨烯薄膜转移处理。

6.根据权利要求5所述的一种铜箔上的连续快速制备石墨烯薄膜的方法,其特征在于,激光的冲击间隔为5秒,X轴方向的移动距离为一个光斑距离,X轴方向冲击完后进行下一周的激光冲击处理,如此循环直至完成整个表面的冲击。

7.根据求利要求5所述的一种铜箔上的连续快速制备石墨烯薄膜的方法,其特征在于,电机(20)每次旋转带动亚克力板(7)竖直移动6mm距离。

8.根据权利要求5所述的一种铜箔上的连续快速制备石墨烯薄膜的方法,其特征在于,所述流量调节器(21)控制去离子水注入反应容器(15)的流量为0.7-0.9L/s。

9.根据求利要求5-7所述的任意一种铜箔上的连续快速制备石墨烯薄膜的方法,其特征在于,高功率激光发生装置(1)发出激光的激光参数为:激光波长1064nm,脉宽12ns,光斑直径2mm,激光能量1J,频率10Hz。

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