[发明专利]一种用于金刚线清洗的清洗机花篮在审
申请号: | 201810272614.3 | 申请日: | 2018-03-29 |
公开(公告)号: | CN108336003A | 公开(公告)日: | 2018-07-27 |
发明(设计)人: | 郭伟;周炎;王海庆;黄振华 | 申请(专利权)人: | 江苏美科硅能源有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/673 |
代理公司: | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人: | 任立 |
地址: | 212200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 底座 圆柱形管 侧边框 上边框 垂直设置 边框架 固定条 金刚线 清洗机 框体 清洗 花篮 边框 固定连接条 底座圆柱 底座纵向 硅片表面 硅片清洗 面积增加 四边结构 悬挂杆 支撑条 根侧 形管 脏污 平行 | ||
1.一种用于金刚线清洗的清洗机花篮,包括框体,其特征在于:所述框体由底座和固定在所述底座上的边框架组成,所述底座由4根底座圆柱形管条(1)围成四边结构;并且在所述底座纵向设有支撑条(3),所述边框架包括侧边框和上边框,所述侧边框分别由4根垂直设置在所述底座上四个角的侧边框圆柱形管条(2)组成,在侧边框的前端和后端的两侧的侧边框圆柱形管条(2)之间固定条(5),并且所述固定条(5)分别与底座对应端的底座圆柱形管条(1)之间设有第一固定连接条(8);
所述上边框由4根分别垂直设置在相邻两根所述侧边框圆柱形管条(2)之间的上边框圆柱形管条(4)组成,且与所述底座平行,所述上边框上横向设有若干个悬挂杆(8)。
2.根据权利要求1所述的用于金刚线清洗的清洗机花篮,其特征在于:所述底座纵向至少设有两个支撑条(3),并且等距设置。
3.根据权利要求1所述的用于金刚线清洗的清洗机花篮,其特征在于:所述侧边框圆柱形管条(2)与其相邻的第一固定连接条(8)之间设有连接板(7),并且在所述连接板(7)上设有把手(6)。
4.根据权利要求1所述的用于金刚线清洗的清洗机花篮,其特征在于:所述底座左右两端的底座圆柱形管条(1)与上框体对应端的上边框圆柱形管条(4)之间设有第二固定连接条(10)。
5.根据权利要求1所述的用于金刚线清洗的清洗机花篮,其特征在于:所述底座和上边框之间设置有隔板(9),并且隔板上设有通孔(11)。
6.根据权利要求1所述的用于金刚线清洗的清洗机花篮,其特征在于:所述框体采用高强度铝合金材质制成。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造