[发明专利]运动控制装置、运动控制方法、掩模台系统和光刻机

权利要求书

1.一种运动控制装置，用于控制第一粗动模块和第二粗动模块同步移动，并使所述第一粗动模块和所述第二粗动模块的位置与运动轨迹信号满足预设要求，其中，所述第一粗动模块和所述第二粗动模块分别设置在第一安装框架和第二安装框架上，其特征在于，所述运动控制装置包括：

第一位置反馈单元，用于进行使所述第一粗动模块的位置与所述运动轨迹信号满足预设要求的反馈控制；

第一轨迹加速度前馈单元，用于进行补偿所述第一粗动模块的位置控制的延迟的前馈控制；

第一框架加速度前馈单元，用于进行补偿所述第一安装框架的振动对所述第一粗动模块的位置控制的扰动的前馈控制；

第一加法运算模块，用于叠加所述第一位置反馈单元、所述第一轨迹加速度前馈单元和所述第一框架加速度前馈单元输出的信息，并输出用于控制所述第一粗动模块运动的信号；

第二位置反馈单元，用于进行使所述第二粗动模块的位置与所述运动轨迹信号满足预设要求的反馈控制；

第二轨迹加速度前馈单元，用于进行补偿所述第二粗动模块的位置控制的延迟的前馈控制；

第二框架加速度前馈单元，用于进行补偿所述第二安装框架的振动对所述第二粗动模块的位置控制的扰动的前馈控制；以及

第二加法运算模块，用于叠加所述第二位置反馈单元、所述第二轨迹加速度前馈单元和所述第二框架加速度前馈单元输出的信息，并输出用于控制所述第二粗动模块运动的信号；

其中，所述第一位置反馈单元包括第一减法运算模块和第一反馈控制器，所述第一减法运算模块用于将运动轨迹信号和所述第一粗动模块的位置信息做减运算，并输出第一偏差信息，所述第一反馈控制器用于处理所述第一偏差信息并输出第一驱动信息；

所述第一轨迹加速度前馈单元用于处理所述第一粗动模块的运动轨迹加速度信号并输出第一修正驱动信息；

所述第一框架加速度前馈单元用于处理所述第一安装框架的加速度信息并输出第二修正驱动信息；

所述第一加法运算模块用于将所述第一驱动信息、第一修正驱动信息和第二修正驱动信息做加运算，并输出控制所述第一粗动模块运动的信号；

所述第二位置反馈单元包括第二减法运算模块和第二反馈控制器，所述第二减法运算模块用于将运动轨迹信号和所述第二粗动模块的位置信息做减运算，并输出第二偏差信息，所述第二反馈控制器用于处理所述第二偏差信息并输出第二驱动信息；

所述第二轨迹加速度前馈单元用于处理所述第二粗动模块的运动轨迹加速度信号并输出第三修正驱动信息；

所述第二框架加速度前馈单元用于处理所述第二安装框架的加速度信息并输出第四修正驱动信息；

所述第二加法运算模块用于将所述第二驱动信息、第三修正驱动信息和第四修正驱动信息做加运算，并输出控制所述第二粗动模块运动的信号。

2.如权利要求1所述的运动控制装置，其特征在于，所述第一安装框架和所述第二安装框架上均设置有减震器，所述第一粗动模块设置在所述第一安装框架上的所述减震器上，所述第二粗动模块设置在所述第二安装框架上的所述减震器上。