[发明专利]一种应用于原子力显微镜的传感器

权利要求书

1.一种应用于原子力显微镜的传感器，其特征在于，包含：底座(1)、可拆卸地配置于底座(1)上侧的绝缘承载层(2)、位于绝缘承载层(2)上的石英晶振(3)、以及探针(6)；石英晶振(3)的第一叉脚(4)和石英晶振(3)的第二叉脚(5)上下相对配置，且石英晶振(3)通过第二叉脚(5)配置于绝缘承载层(2)上；探针(6)配置于石英晶振(3)的第一叉脚(4)上。

2.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述底座(1)为长方体，且其上侧开设有凹槽(1A)，所述凹槽(1A)自底座(1)的一侧部向与该一侧部相对的另一侧部延伸，且所述凹槽(1A)的延伸方向与石英晶振(3)各叉脚的延伸方向相同；所述绝缘承载层(2)位于所述凹槽(1A)上侧。

3.根据权利要求2所述的传感器，其特征在于，所述凹槽(1A)为截面为V型状的凹槽。

4.根据权利要求3所述的传感器，其特征在于，所述凹槽(1A)的深度为2mm至4mm，所述凹槽(1A)宽度为1mm至3mm。

5.根据权利要求2所述的传感器，其特征在于，石英晶振(3)不处于凹槽(1A)的正上方。

6.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述石英晶振(3)为无源石英晶振，且其谐振频率为20kH_Z至100kH_Z。

7.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述底座(3)的重量为10g-15g。

8.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述探针(6)为硅探针、钨探针、金探针、铂铱合金探针、金刚石探针或碳纤维探针。

9.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述探针(6)为碳纤维探针，所述碳纤维探针的直径为5um至10um，所述碳纤维探针针尖的曲率半径为5nm至100nm。