[发明专利]一种单片太阳能电池片边缘刻蚀用防挤压夹具

说明书

本发明公开了一种单片太阳能电池片边缘刻蚀用防挤压夹具，包括基板、夹设装置以及固定装置，所述夹设装置和固定装置均设置于基板上；夹设装置，包括夹板、底板以及按钮开关，所述夹板固定于基板上，所述夹板一侧侧壁开设有安装槽和开关槽，所述安装槽内固定有电动推杆一，所述按钮开关活动插设于开关槽内，所述按钮开关固定于弹簧上；固定装置包括移动板、保护罩以及真空吸盘，所述电动推杆二和真空吸盘均电性连接于控制面板上。本发明可以将无法直接堆叠夹设的单片电池片进行固定夹设，从而在不会夹碎电池片以及不会破坏电池片表面PN结的情况下，合理有效地进行边缘刻蚀，大大提高了工作效率，也避免了大量的经济损失。

技术领域

本发明涉及太阳能电池技术领域，具体为一种单片太阳能电池片边缘刻蚀用防挤压夹具。

背景技术

在太阳能电池片制作工艺步骤如下：1、制绒，将硅片表面腐蚀成金字塔状的形貌；2、扩散，硅片表面形成PN结；3、刻蚀，将硅片边缘的PN结去掉，防止电池短路；4、去PSG，清洗硅片表面，去除二氧化硅层；5、PECVD，在硅片表面镀一层减反射膜；6、印刷烧结，印刷电极及背场，并烘干烧结。

面对全球能源危机，太阳能光伏发电技术已经成为半导体行业的新的发展热点，晶硅太阳能电池制造分为制绒、扩散、等离子刻蚀、PSG清洗、PECVD镀膜、丝网印刷、烧结等工序，而扩散工艺会导致硅片边缘出现N型结层，会导致电池正负电极出现N型导通通路，影响太阳能电池的发电效率，因此需要将该层物质去除。

等离子刻蚀工艺是一种常用的刻蚀方法，该工艺是在辉光放电条件下将气体CF4激发成等离子体，对硅片周边进行刻蚀。等离子刻蚀是目前产业常用的刻蚀方法之一，其原理为采用CF4和O2作为反应气体，将硅片叠放在一起后，让裸露出来的边缘的硅材料和反应气体反生反应，最终起到边缘刻蚀的效果，打断电池正负两级的导通通路。从刻蚀的原理可看出，刻蚀夹具是影响刻蚀效果的重要因素，夹具对硅片的施压太大会导致硅片碎裂，施压太小或者不均匀会导致反应气体渗透至硅片上下表面，对不需要刻蚀的区域造成损伤，影响发电效率。传统夹具结构简单，刻蚀效果不稳定，刻蚀夹具结构为采用两块金属矩形板，金属板两相对边连接有金属螺杆，两侧通过螺杆和螺栓将两块金属板间的硅片夹紧。

现有技术中申请号为201120531290.4的“一种太阳能电池片的刻蚀夹具”、申请号为201110309173.8的“一种晶硅太阳能电池干法刻蚀夹具”以及申请号为201621296389.X的“一种晶硅太阳能电池片的刻蚀夹具”这三个申请文件均可以解决传统夹具的缺陷，这三种夹具均是通过先将电池片堆叠放置于两块夹板之间，然后放入等离子刻蚀机内进行边缘刻蚀。

但是上述的申请文件在进行边缘刻蚀时，还存在较为明显的缺陷：1、虽然可以使电池片在夹设时受力更加均匀，但是一批电池片中仍然会存在少部分电池片表面过于光滑，无法很好的与其余电池片完成堆叠夹设，容易发生滑动，此时需要将这部分电池片选出，单独进行边缘刻蚀，但是由于表面更光滑，夹具提供的力度必须更大，则更容易造成电池片损坏，产生经济损失；2、使用夹具对电池片进行堆叠夹设，一定会对电池片上表面的PN结造成磨损，从而影响电池片的光电转换效率，造成不必要的损失。

发明内容

本发明的目的在于提供一种单片太阳能电池片边缘刻蚀用防挤压夹具，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种单片太阳能电池片边缘刻蚀用防挤压夹具，包括基板、夹设装置以及固定装置，所述夹设装置和固定装置均设置于基板上；

夹设装置，包括夹板、底板以及按钮开关，所述夹板固定于基板上，所述夹板一侧侧壁开设有安装槽和开关槽，所述安装槽设置于基板和开关槽之间，所述安装槽内固定有电动推杆一，所述底板活动插接于安装槽内，且底板固定于电动推杆一杆体上，所述开关槽内固定有弹簧，所述按钮开关活动插设于开关槽内，所述按钮开关固定于弹簧上，所述按钮开关与电动推杆一电性连接；