[发明专利]挠性膜机构、流道部件、液体喷射装置以及控制方法

权利要求书

1.一种挠性膜机构，其为用于阀机构的挠性膜机构，所述挠性膜机构的特征在于，具备：

盖部件；

挠性膜，在所述挠性膜与所述盖部件之间形成空间；

流体流道，其与所述空间连通，

所述挠性膜通过该挠性膜的变形而使所述阀机构的阀进行开闭，且具有在所述盖部件侧成为凸部、在所述凸部的相反侧成为凹部的突出部，并且所述挠性膜在与所述阀机构抵接的部分的外侧处，具有易于变形的区域和不易变形的区域。

2.如权利要求1所述的挠性膜机构，其特征在于，

所述挠性膜中的所述不易变形的区域厚于所述易于变形的区域，

所述挠性膜中的、被设置于所述不易变形的区域中的所述突出部与被设置于所述易于变形的区域中的所述突出部相比，向所述盖部件侧突出的突出量较小，

所述挠性膜机构在相对于所述挠性膜的、与所述盖部件相反的一侧处具备限制部，

所述限制部在所述挠性膜的端部处对所述挠性膜的变形进行限制，

所述挠性膜的易于变形的区域和不易变形的区域由杨氏模量互不相同的材料形成，

在从所述挠性膜和所述盖部件的层叠方向进行俯视观察时，所述空间具有长条形状，

所述不易变形的区域为，所述长条形状的长度方向的端部。

3.如权利要求1或2所述的挠性膜机构，其特征在于，

所述挠性膜中的所述不易变形的区域厚于所述易于变形的区域。

4.如权利要求1至3中任一项所述的挠性膜机构，其特征在于，

所述挠性膜中的、被设置于所述不易变形的区域中的所述突出部与被设置于所述易于变形的区域中的所述突出部相比，向所述盖部件侧突出的突出量较小。

5.如权利要求1至4中任一项所述的挠性膜机构，其特征在于，

在相对于所述挠性膜的、与所述盖部件相反一侧处具备限制部，

所述限制部在所述挠性膜的端部处对所述挠性膜的变形进行限制。

6.如权利要求1至5中任一项所述的挠性膜机构，其特征在于，

所述挠性膜的易于变形的区域和不易变形的区域由杨氏模量互不相同的材料形成。

7.如权利要求1至6中任一项所述的挠性膜机构，其特征在于，

在从所述挠性膜和所述盖部件的层叠方向进行俯视观察时，所述空间具有长条形状，

所述不易变形的区域为，所述长条形状的长度方向的端部。

8.如权利要求7所述的挠性膜机构，其特征在于，

所述空间在所述空间的宽度方向上并排设置有多个。

9.如权利要求1至8中任一项所述的挠性膜机构，其特征在于，

所述阀机构具备：

腔室，其与所述阀连通；

薄膜，其对所述腔室的至少一部分进行规定，并通过变形从而使所述阀进行开闭，

所述的挠性膜机构具备隔离件，所述隔离件用于将所述薄膜和所述挠性膜之间的距离保持为固定。

10.一种流道部件，其特征在于，具备：

权利要求1至9中任一项所述的挠性膜机构；

阀机构。

11.一种液体喷射装置，其特征在于，具备：

权利要求1至9中任一项所述的挠性膜机构；

液体喷射头，其喷射液体。

12.一种控制方法，其为用于阀机构的挠性膜的控制方法，所述控制方法的特征在于，具备：

变形工序，其使所述挠性膜变形；

抵接工序，其使所述挠性膜与所述阀机构抵接，

在所述变形工序中，以在所述挠性膜中的与所述阀机构抵接的部分的外侧处具有外翻的区域和不外翻的区域的方式使所述挠性膜变形。