[发明专利]基板清洗系统及清洗方法

说明书

本发明涉及显示面板领域，尤其涉及一种基板清洗系统及基板清洗方法。其中，基板清洗系统包括：至少两个侧边喷洒单元，设置于所述基板的周边位置，用于喷洒清洗剂以清洗所述基板的周边；中间喷洒单元，设置于所述基板的中部位置，并位于所述至少两个侧边喷洒单元之间，用于喷洒清洗剂以清洗所述基板的中部；控制单元，分别与所述至少两个侧边喷洒单元和所述中间喷洒单元连接，用于根据滞留在所述基板不同部位的清洗剂量，调整所述至少两个侧边喷洒单元和/或所述中间喷洒单元的清洗剂的喷洒量，以使所述基板不同部位不存在清洗剂量的偏差。在清洗基板时，使得滞留在基板上各个部位的清洗剂量能够均匀，从而提高基板的品质，有效改善白斑现象。

技术领域

本发明涉及显示面板领域，尤其涉及一种基板清洗系统及清洗方法。

背景技术

目前5.48FHD基板产品块状白斑高发，经过发明人研究发现：基板产品的白斑高发是由13001600站点(Docking clean)产生。请一并参阅图1与图2，图1是传统技术提供一种基板清洗系统的结构示意图，图2是基于图1所示的基板清洗系统清洗的基板的测试图。如图1与图2所示，该基板清洗系统100包括共用同一管路11的若干个喷洒装置12，喷洒装置12喷洒出清洗剂，用以清洗基板13。在喷洒过程中，等量的清洗剂从基板13上方喷洒出，由于基板13的中心液面高度H1大于周边高度H2，所以清洗剂从基板13的周边流出。

发明人在实现本发明的过程中，发现传统技术至少存在以下问题：由于基板13中间位置的清洗剂的滞留量与基板12周边不同，此种滞留量差异会造成基板最终出现亮度不均匀的Mura问题，即容易引发白斑现象。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明实施例的目的旨在提供一种基板清洗系统及清洗方法，旨在解决传统技术存在着基板上的清洗剂滞留量差异导致显示亮度不均匀出现白斑的技术问题。

本发明实施例提供一种基板清洗系统，用于清洗基板，包括：

至少两个侧边喷洒单元，设置于所述基板的周边位置，用于喷洒清洗剂以清洗所述基板的周边；

中间喷洒单元，设置于所述基板的中部位置，并位于所述至少两个侧边喷洒单元之间，用于喷洒清洗剂以清洗所述基板的中部；

控制单元，分别与所述至少两个侧边喷洒单元和所述中间喷洒单元连接，用于根据滞留在所述基板不同部位的清洗剂量，调整所述至少两个侧边喷洒单元和/或所述中间喷洒单元的清洗剂的喷洒量，以使所述基板不同部位不存在清洗剂量的偏差。

本发明实施例还提供一种基板清洗方法，用于清洗基板，包括：

提供至少两个侧边喷洒单元以及中间喷洒单元，所述至少两个侧边喷洒单元设置于所述基板的周边位置，所述中间喷洒单元设置于所述基板的中部位置，所述中间喷洒单元位于所述至少两个侧边喷洒单元之间；

根据滞留在所述基板不同部位的清洗剂量，调整所述至少两个侧边喷洒单元和/或所述中间喷洒单元的清洗剂的喷洒量，以使所述基板不同部位不存在清洗剂量的偏差。

本发明实施例提供的基板清洗系统和基板清洗方法，每排喷洒改为由两套管路系统提供清洗剂，其中一套管路系统为两个侧边喷洒单元，另一套管路系统为中间喷洒单元，两套管路系统可以单独控制压力、流量和浓度，使得滞留在基板上各个部位的清洗剂量能够均匀，以解决大板清洗不均匀问题，从而提高基板的品质，避免出现亮度不均的Mura问题，有效改善白斑现象。

附图说明

图1是传统技术提供一种基板清洗系统的结构示意图；

图2是基于图1所示的基板清洗系统清洗的基板的测试图；

图3是本发明实施例提供一种基板清洗系统的结构示意图；

图4是图3中控制单元的结构示意图；