[发明专利]不良检查系统及其方法在审
| 申请号： | 201810293780.1 | 申请日： | 2014-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN108663377A | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 姜志浩;柳林水 | 申请（专利权）人： | 塞米西斯科株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/892 | 分类号： | G01N21/892 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 延美花;臧建明 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 第一基板 图像获取装置 第二基板 方向移动 检查系统 支架结构体 结合构件 支架固定 支撑件 移动 支架 支撑 检查 | ||
【权利要求书】：
1.一种支架结构体，其特征在于，包括：
图像获取装置；
支架，其支撑所述图像获取装置；以及
结合构件，其将所述支架固定到支撑件，
其中，第一基板从第一方向向第二方向移动，第二基板从所述第二方向向所述第一方向移动，所述第一基板与所述第二基板同时移动，
所述图像获取装置在所述第一基板及所述第二基板移动时检查所述第一基板的不良。
2.一种支架结构体，其特征在于，包括：
图像获取装置，其在移送通道部或转台检查所述第一基板的不良，其中所述移送通道部是机械手的移动空间，所述转台是已执行特定工序的第一基板与待执行所述特定工序的第二基板的交叉空间；以及
支架，其支撑所述图像获取装置。
3.一种支架结构体，其特征在于，包括：
图像获取装置，其在对第一基板执行清洗工序的清洗机或容纳从所述清洗机移动的所述第一基板的转台检查所述第一基板的不良；以及
支架，其支撑所述图像获取装置。
4.一种支架结构体，其特征在于，包括：
图像获取装置，其检查同时交叉的第一基板与第二基板中其中一个基板的不良；以及
支架，其支撑所述图像获取装置，
其中，所述第一基板是已执行特定工序的基板，所述第二基板是待执行所述特定工序的基板。
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