[发明专利]一种应用于扫描探针显微镜的传感器

权利要求书

1.一种应用于扫描探针显微镜的传感器，其特征在于，包含：底座(1)、可拆卸地配置于底座(1)上侧的绝缘承载层(2)、位于绝缘承载层(2)上的第一石英晶振(3)、第二石英晶振(4)、以及探针(5)；第一石英晶振(3)的第一叉脚(6)和第一石英晶振(3)的第二叉脚(7)上下相对配置，第二石英晶振(4)的第一叉脚(8)和第二石英晶振(4)的第二叉脚(9)左右相对配置；第一石英晶振(3)的第二叉脚(7)配置于绝缘承载层(2)上，第二石英晶振(4)的基座部配置于第一石英晶振(3)的第一叉脚(6)上，探针(5)配置于第二石英晶振(4)的第一叉脚(8)上；第一石英晶振(3)和第二石英晶振(4)两者的谐振频率不同，且第一石英晶振(3)的两接线端分别对应电连接于第二石英晶振(4)的两接线端；

所述底座(1)为长方体，且其上侧开设有凹槽(1A)，所述凹槽(1A)自底座(1)的一侧部向与该一侧部相对的另一侧部延伸，且所述凹槽(1A)的延伸方向与第一石英晶振(3)和第二石英晶振(4)两者各叉脚的延伸方向相同；所述绝缘承载层(2)位于所述凹槽(1A)上侧；所述凹槽(1A)为截面为V型状的凹槽。

2.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述凹槽(1A)的深度为2mm至4mm，所述凹槽(1A)宽度为1mm至3mm。

3.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述第一石英晶振(3)、第二石英晶振(4)不处于凹槽(1A)的正上方。

4.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述第一石英晶振(3)为无源石英晶振，且其谐振频率为20kHz至100kHz；所述第二石英晶振(4)为无源石英晶振，且其谐振频率为100kHz至200kHz。

5.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述第二石英晶振(4)通过玻璃浆料(10)焊接于所述第一石英晶振(3)的第一叉脚(6)上。

6.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述探针(5)为钨探针、铂铱合金探针、碳纤维探针或金探针。

7.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述探针(5)为碳纤维探针，所述碳纤维探针的直径为5um至10um，所述碳纤维探针针尖的曲率半径为5nm至100nm。

8.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，第二石英晶振(4)的第一叉脚(8)的上端面(8A)、第二石英晶振(4)的第二叉脚(9)的上端面(8B)、第一石英晶振(3)的第一叉脚(6)的上端面(6C)平齐。